[发明专利]一对多光阻回收系统及其控制方法

权利要求书

1.一种一对多光阻回收系统，供以与一机台连通，包括：

一多向连通控制器，与该机台连通，该多向连通控制器用以控制光阻液的流向；

复数回收桶，与该多向连通控制器连通，各该回收桶与该多向连通控制器之间具分别有一回收管路，该回收桶用以置放回收的光阻液；

一再生桶，与该些回收桶连通，该再生桶与各该回收桶之间分别具有一再生管路，该再生桶供用以接收回收的光阻液，并将其调整至理想黏度；

一稀释桶，与该再生桶连通， 该稀释桶与该再生桶之间具有一调节清洗管路，该稀释桶用以根据不同光阻需求提供不同稀释液；

一新液桶，与该再生桶连通，该新液桶与该再生桶之间具有一第一新液管路，该新液桶用以根据不同光阻需求提供不同的新光阻液；

其特征在于：

该稀释桶与该多向连通控制器、该些回收桶连通，该稀释桶与该回收桶之间具有一稀释管路，该稀释桶与该多向连通控制器之间具有一回收贮存清洗管路；

一供应桶，与该再生桶、该稀释桶、该新液桶及该机台连通，该供应桶与该稀释桶之间具有一清洗管路、该供应桶与该再生桶之间具有一第一输送管路，该供应桶与该机台间具有一第二输送管路，该供应桶与该新液桶之间具有一第二新液管路，该供应桶主要用以供应回收光阻至该机台；以及

一废液桶，与该多向连通控制器、该些回收桶、该再生桶及该供应桶连通，该废液桶与各该回收桶之间分别具有一排放管路，该废液桶与该多向连通控制器之间具有一第一废液管路，该废液桶与该再生桶之间具有一第二废液管路，该废液桶与该供应桶之间具有一第三废液管路，该废液桶供以接收排放的废光阻液。

2.如权利要求1所述的一对多光阻回收系统，其特征在于，其中，该回收桶的数量为三，三个该回收桶分别为一第一回收桶、一第二回收桶、一第三回收桶：

该第一回收桶与该多向连通控制器之间的回收管路为一第一回收管路，该第一回收桶与该再生桶之间的再生管路为一第一再生管路，该第一回收桶与该稀释桶之间的稀释管路为一第一稀释管路，该第一回收桶与该废液桶之间的排放管路为一第一排放管路；

该第二回收桶与该多向连通控制器之间的回收管路为一第二回收管路，该第二回收桶与该再生桶之间的再生管路为一第二再生管路，该第二回收桶与该稀释桶之间的稀释管路为一第二稀释管路，该第二回收桶与该废液桶之间的排放管路为一第二排放管路；

该第三回收桶与该多向连通控制器之间的回收管路为一第三回收管路，该第三回收桶与该再生桶之间的再生管路为一第三再生管路，该第三回收桶与该稀释桶之间的稀释管路为一第三稀释管路，该第三回收桶与该废液桶之间的排放管路为一第三排放管路。

3.如权利要求1或2所述的一对多光阻回收系统，其特征在于，其中，另包括一气体供应系统及一泄压系统，与该些回收桶、该再生桶、该稀释桶、该新液桶及该供应桶连通，该气体供应系统用以提供气体以对该些回收桶、该再生桶、该稀释桶、该新液桶及该供应桶进行风干作业，该泄压系统与该些回收桶、该再生桶、该稀释桶、该新液桶及该供应桶连通，该泄压系统用以将该些回收桶、该再生桶、该稀释桶、该新液桶及该供应桶内多余的气体排出。

4.如权利要求1或2所述的一对多光阻回收系统，其特征在于，其中，另包括复数泵浦，在该调节清洗管路、该第一输送管路、该第二输送管路分别设置一个该泵浦。

5.如权利要求3所述的一对多光阻回收系统，其特征在于，其中，另包括复数单向筏，在该些再生管路、该些稀释管路、该些排放管路、该回收贮存清洗管路、该调节清洗管路、该第一新液管路、第一输送管路、清洗管路、该第二新液管路、该第二输送管路、第一废液管路、该第二废液管路、第三废液管路、该泄压系统与该些回收桶之间、该泄压系统与该稀释桶之间、该泄压系统与该再生桶之间、该泄压系统与该新液桶之间、该泄压系统与该供应桶之间、该气体供应系统与各该回收桶之间、该气体供应系统与该稀释桶之间、该气体供应系统与该再生桶之间、该气体供应系统与该新液桶之间、该气体供应系统与该供应桶之间分别设置一个该单向筏。