[发明专利]蒸镀装置及包含基于蒸镀装置的成膜工序的制造方法有效
| 申请号： | 201610227063.X | 申请日： | 2016-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN106048550B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 樋口俊郎;上野博;木村仁 | 申请（专利权）人： | 纳卢克斯株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 包含 基于 工序 制造 方法 | ||
【说明书】：
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