[发明专利]蓝宝石长晶炉

权利要求书

1.一种蓝宝石长晶炉，其特征在于：包括环形的内加热器(1)和外加热 器(2)以及均匀设置在所述内加热器(1)与外加热器(2)之间的多个坩埚(3)， 所述坩埚(3)底部设有冷却装置(4)，所述内加热器(1)和外加热器(2)的 功率为可控的。

2.如权利要求1所述的蓝宝石长晶炉，其特征在于：所述冷却装置(4) 包括相互连通的一进口(41)和一出口(42)，所述冷却装置(4)内设有冷却 介质(43)，所述冷却介质(43)由进口(41)向出口(42)方向流动，所述冷 却介质(43)的流量及温度为可控的。

3.如权利要求2所述的蓝宝石长晶炉，其特征在于：所述冷却介质(43) 为水或氦气。

4.如权利要求1所述的蓝宝石长晶炉，其特征在于：还包括顶部加热器， 所述顶部加热器位于所述坩埚(3)的上部。

5.如权利要求1或4所述的蓝宝石长晶炉，其特征在于：所述坩埚(3) 的高径比在0.8～1.5之间。

6.如权利要求5所述的蓝宝石长晶炉，其特征在于：所述内加热器(1) 和所述外加热器(2)之间的距离大于所述坩埚(3)的直径，且所述内加热器 (1)和所述外加热器(2)之间的直径差大于两倍的所述坩埚(3)的直径。

7.如权利要求1或4所述的蓝宝石长晶炉，其特征在于：还包括水冷壁炉 (5)，所述水冷壁炉(5)环设在所述外加热器(2)外部。

8.如权利要求1所述的蓝宝石长晶炉，其特征在于：所述坩埚(3)为4 个或6个。