[发明专利]泡沫氮化镓及其制作方法有效
| 申请号： | 201610224132.1 | 申请日： | 2016-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN107285798B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 潘革波;秦双娇;彭飞;陈雪晴 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | H01L33/22 | 分类号： | H01L33/22;C04B38/00;C04B35/58 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 泡沫 氮化 及其 制作方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种泡沫氮化镓的制作方法，其特征在于，包括：
在衬底上形成氮化镓层；
以所述氮化镓层作为光阳极，以金属电极作为阴极，将所述氮化镓层放置于刻蚀液中进行光电化学刻蚀，以形成氮化镓骨架及位于所述氮化镓骨架内部且彼此贯通的多个孔室；
其中，所述刻蚀液选自咪唑类离子液体、吡啶类离子液体、季铵盐类离子液体中的任意一种；在各离子液体中，阴离子选自三氟甲磺酸根或硝酸根。
2.根据权利要求1所述的泡沫氮化镓的制作方法，其特征在于，对所述氮化镓层进行湿法刻蚀的电压为1V～20V，刻蚀时间为1min～20min。
3.根据权利要求1所述的泡沫氮化镓的制作方法，其特征在于，对所述氮化镓层进行湿法刻蚀之前，所述泡沫氮化镓的制作方法还包括：对所述衬底及其上形成的氮化镓层依次在丙酮和无水乙醇中进行超声清洗。
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