[发明专利]SOI衬底石墨烯晶体管太赫兹波双频点选频调制器及其制备方法有效
| 申请号： | 201610223600.3 | 申请日： | 2016-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN105892103B | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 文岐业;沈雁飞;刘朝阳;李加洋;殷亮;刘洋;涂翔宇;文天龙;陈智;杨青慧;张怀武 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/015 | 分类号： | G02F1/015;H01L29/78;H01L29/16;H01L21/762 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 李明光 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | soi 衬底 石墨 晶体管 赫兹 双频 点选 调制器 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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