[发明专利]一种有机电致发光器件及其制备方法和显示面板有效
| 申请号: | 201610221694.0 | 申请日: | 2016-04-11 |
| 公开(公告)号: | CN105655504B | 公开(公告)日: | 2017-06-16 |
| 发明(设计)人: | 吴长晏;焦志强;尤娟娟 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52;H01L27/32;H01L21/77 |
| 代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人: | 黄志华 |
| 地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 有机 电致发光 器件 及其 制备 方法 显示 面板 | ||
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种有机电致发光器件及其制备方法和显示面板。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)屏幕以其轻薄、主动发光、快响应速度、广视角、色彩丰富及高亮度、低功耗、耐高温等众多优点而被业界公认为是继液晶显示器(LCD,Liquid Crystal Display)之后的第三代显示技术,可以广泛用于智能手机、平板电脑、电视等终端产品。而AMOLED(Active-matrix organic light emitting diode,有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体)屏幕是在OLED屏幕基础上发展的更新的一代显示屏。
现有显示屏的显示效果与PPI(Pixels Per Inch,像素密度)具有直接的关系,像素密度所表示的是每英寸屏幕所拥有的像素数量,因此像素密度数值越高,代表显示屏能够以越高的密度显示图像,当然,显示屏显示的密度越高,拟真度就越高。随着智能手机、平板电脑等个人移动电子产品的广泛使用,人们对显示屏的像素密度提出了越来越高的要求。而现有AMOLED显示屏的量产技术主要是采用精细金属掩膜(Fine Metal Mask,FMM)以RGB像素并置法(side by side)来实现全彩化。
但是,由于精细金属掩膜制备时的加工精度控制困难,在AMOLED显示屏的制作过程中,因受限于精细金属掩膜中加工精度的要求,像素单元的尺寸不能做的太小,因此,AMOLED显示屏难以实现高像素密度。
发明内容
本发明提供了一种有机电致发光器件及其制备方法和显示面板,该有机电致发光器件的制备方法能够降低对精细金属掩膜的精度要求,还便于实现显示屏的高像素密度设计。
为达到上述目的,本发明提供以下技术方案:
一种有机电致发光器件的制备方法,所述有机电致发光器件包括衬底基板,所述衬底基板具有阵列分布的多个像素单元,每一个像素单元包括一个第一颜色的子像素、一个第二颜色的子像素、一个第三颜色的子像素和一个第四颜色的子像素,所述制备方法包括:
通过第一精细金属掩膜在所述衬底基板上蒸镀形成多个第一蒸镀层图案;
通过第二精细金属掩膜在所述衬底基板上蒸镀形成多个第二蒸镀层图案,每一个所述第二蒸镀层图案的长度方向与所述第一蒸镀层图案的长度方向平行,且沿与所述第一蒸镀层图案的长度方向垂直的方向,所述第二蒸镀层图案与所述第一蒸镀层图案交替分布;
通过第三精细金属掩膜在所述衬底基板上蒸镀形成多个第三蒸镀层图案,每一个所述第三蒸镀层图案的长度方向与所述第一蒸镀层图案的长度方向相交,且,每一个所述第三蒸镀层图案与所述第一蒸镀层图案的交叠部位形成第一颜色的子像素的电致发光层,每一个所述第三蒸镀层图案与所述第二蒸镀层图案的交叠部位形成第二颜色的子像素的电致发光层;
通过第四精细金属掩膜在所述衬底基板上蒸镀形成多个第四蒸镀层图案,每一个所述第四蒸镀层图案的长度方向与所述第三蒸镀层图案的长度方向平行,且沿与所述第三蒸镀层图案的长度方向垂直的方向,所述第四蒸镀层图案与所述第三蒸镀层图案交替分布;且,每一个所述第四蒸镀层图案与所述第一蒸镀层图案的交叠部位形成第三颜色的子像素的电致发光层,每一个所述第四蒸镀层图案与所述第二蒸镀层图案的交叠部位形成第四颜色的子像素的电致发光层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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