[发明专利]一种电泳装置

说明书

技术领域

本发明属于半导体设备制造技术领域，尤其是涉及一种电泳装置。

背景技术

随着半导体工业的迅速发展，玻璃钝化工艺的应用越来越普遍，目前涂敷玻璃主要有三种方法：医用手术刀法，电泳法和旋转匀涂法，相比于其他两种方法电泳法玻璃涂层厚度可控并且更均匀，现有的电泳机大多在溶液起火时无应对措施，且机械传动装置的稳定性差，这就需要一种运动可靠，且满足消防和环保要求的电泳装置。

发明内容

有鉴于此，本发明旨在提出一种运动可靠，且满足消防和环保要求的电泳装置。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

一种电泳装置，包括主体框架、超声槽、机械传动装置和活动门，所述主体框架内部底端设置有底座，所述底座上端设置有若干个所述超声槽；所述机械传动装置包括设置于所述超声槽外部的提升基板，所述提升基板上平行放置有两根沿所述提升基板长度方向延伸的导向杆，每根导向杆的上部和中部由轴承A固定，所述两导向杆中段之间固定有平衡臂，所述平衡臂的中部上端固定有提升连杆，所述提升连杆上部由轴承B固定，所述平衡臂下端正对所述提升连杆处设有电缸，所述导向杆和提升连杆的上端固定在提升架载板的底面上，所述提升架载板靠近超声槽一端的侧面上设有沿所述超声槽方向延伸的提升支架，所述提升支架位于所述超声槽的正上方，所述提升基板上还设有光电安装座，所述光电安装座上设置有光电开关；所述主体框架的后端面设置有后封板，所述主体框架的两侧面设置有侧封板，所述主体框架的前端面上位于超声槽上方和下方处设置有前封板，所述主体框架前端面的超声槽位置通过活动门来开启和关闭；所述活动门包括纵截面为长方形的活动门主体，所述活动门主体后端面的两侧边缘处设置有导引槽，所述导引槽中部设置有钢丝绳卡块，所述导引槽内设置有若干个滚子，所述主体框架上设置有可供所述滚子上下滑动的滑道，所述钢丝绳卡块与钢丝绳一端相连，所述钢丝绳另一端穿过至少两个设置于主体框架顶端的定滑轮后与主体框架后方的重锤上端相连，所述重锤下端与气缸的活塞杆相连，所述气缸设置在气缸支撑架上；所述主体框架一侧设置有电控柜，所述主体框架另一侧设置有消防装置；所述超声槽、机械传动装置、活动门和消防装置均与电控柜相连。

进一步的，所述超声槽包括外槽，所述外槽内部设置有内槽，所述内槽的底部外壁上设置有若干个均匀布置的超声振子，所述内槽内部设置有若干个石英杯底座，所述内槽壁上设置有进水口和内槽出水口，所述进水口与外部水源连通，所述内槽出水口通向外槽内，所述外槽壁上设置有溢流排水口，所述溢流排水口通向外槽外部。

进一步的，所述超声振子的个数为13个，分三列均匀固定在内槽底部外壁上。

进一步的，所述进水口设置于所述内槽的侧壁上，所述内槽出水口设置于所述内槽的底面上。

进一步的，所述重锤上端设置有吊环，所述钢丝绳连接在吊环上。

进一步的，所述气缸活塞杆与重锤之间设置有重锤缓冲垫。

进一步的，所述主体框架上设置有风路通道和水路通道。

进一步的，所述主体框架的外部底端设置有若干个刹车脚轮。

进一步的，所述消防装置包括温度传感器、丙酮浓度测量元件以及灭火器。

相对于现有技术，本发明所述的电泳装置具有以下优势：增加了消防装置和活动门，通过测温传感器和丙酮浓度检测装置实时监测，预防消除火灾隐患，且在消防装置启动前可自动关闭活动门，使设备内部封闭，防止消防装置动作对人造成伤害。

附图说明

构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明的主视图；

图2为本发明的侧视图；

图3为本发明所述的机械传动装置的主视图；

图4为本发明所述的机械传动装置的侧视图；

图5为本发明所述的活动门的主视图；

图6为本发明所述的活动门的侧视图；

图7为本发明所述的超声槽的主视图；

图8为本发明所述的超声槽的侧视图。

附图标记说明：