[发明专利]板状体的研磨方法及研磨装置有效
| 申请号： | 201610211042.9 | 申请日： | 2012-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN105856061B | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 女部田裕一;斋藤准一;中村英生;木村宏 | 申请（专利权）人： | AGC株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/26 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 板状体 研磨 方法 装置 | ||
【说明书】：
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