[发明专利]圆形波导微波与等离子体相互作用装置

权利要求书

1.一种圆形波导微波与等离子体相互作用装置，它包括微波源(1)，衰减器(2)，铁氧体绝缘器(3)，真空密封微波窗(4)，转换器(5)，等离子源(6)，软管(7)，隔膜(8)，圆形波导管(9)，探针及微波天线(10)，等离子体观察仪(11)，吸波负载(12)，真空泵(13)。

微波源(1)通过衰减器(2)、铁氧体绝缘器(3)，在真空密封微波窗(4)处与矩形波导管相连，然后通过矩形波导-圆形波导转换器(5)与圆形波导管相连，用于产生微波，并将微波传导至波导管作用区域。衰减器(2)设置于微波源(1)后，与铁氧体绝缘器(3)结合，用于调整输出微波的频率。矩形波导-圆形波导转换器(5)顶部通过隔膜(8)与作用区域的圆形波导管(9)相连，底部为等离子源(6)，等离子源则与软管(7)相连并伸入圆形波导管(9)中。圆形波导管(9)末端设有吸波负载(12)与真空泵源(13)，另一端设有等离子体观察仪(11)与探针和微波天线(10)。

2.根据权利要求1所述的圆形波导微波与等离子体相互作用装置，其特征在于，该装置为轴对称结构。