[发明专利]一种电致发光显示器件及其制作方法在审
| 申请号: | 201610208651.9 | 申请日: | 2016-04-06 |
| 公开(公告)号: | CN105742332A | 公开(公告)日: | 2016-07-06 |
| 发明(设计)人: | 陈亚文 | 申请(专利权)人: | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/56 |
| 代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所 44268 | 代理人: | 王永文;刘文求 |
| 地址: | 510000 广东省广州市中*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 电致发光 显示 器件 及其 制作方法 | ||
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种电致发光显示器件及其制作方法。
背景技术
在信息社会的当代,作为可视信息传输媒介的显示器件的重要性在进一步加强,显示器件正朝着更轻、更薄、更低能耗、更低成本以及更好图像质量的趋势发展。
有机电致发光二极管(OLED)具有自发光、反应快、视角广、亮度高、轻薄等优点;量子点发光二极管(QLED)具有光色纯度高、发光量子效率高、发光颜色易调、使用寿命长等优点,所以二者是目前显示器件研究的两个主要方向。其中,顶发射型器件由于可以获得更大的开口率,近年来成为了业界研究的热点。但是,顶发射器件由于需要增加光的透过率,所以顶电极的厚度一般较薄,导致电极方阻较大,电压降严重,会引起显示器的发光不均匀现象。
为了改善顶发射型器件的发光均匀性,往往会引入与顶部透明电极相连通的辅助电极,通过辅助电极的高导电性来减小顶部透明电极的电压降,改善发光亮度的均匀性。由于辅助电极通常是不透光的,因此不能制作在发光区域上。根据辅助电极的制作位置,可以将辅助电极分为制作在TFT(薄膜晶体管)阵列上的下辅助电极以及制作在CF(彩色滤光片)上的上辅助电极。
对于制作在TFT阵列上的下辅助电极,一般是通过光刻工艺或者精细金属掩膜在顶部透明电极上制作,其对制作工艺的对位精度要求高。并且光刻工艺的显影、刻蚀、剥离等工序会对顶电极造成一定的破坏,而金属掩膜则会随着面板尺寸的增大在重力作用下形成应力弯曲,导致对位不准的问题。
因此,现有技术还有待于改进和发展。
发明内容
鉴于上述现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种电致发光显示器件及其制作方法,旨在解决现有的下辅助电极制作工艺会对顶电极造成破坏、以及对位不准的问题。
本发明的技术方案如下:
一种电致发光显示器件的制作方法,其中,包括步骤:
A、在已制作了底部电极的TFT平坦层上依次形成高导电层以及导电疏水膜;
B、通过构图工艺将高导电层以及导电疏水膜图案化,使高导电层形成辅助电极;
C、在TFT平坦层上形成包裹在高导电层以及导电疏水膜两侧的像素界定层;
D、在发光区域的底部电极上形成电致发光层;
E、最后沉积顶部透明电极以封装电致发光显示器件。
所述的电致发光显示器的制作方法,其中,所述高导电层为银、铜、铝、钼或它们的合金。
所述的电致发光显示器的制作方法,其中,所述导电疏水膜为碳纳米管经由表面氟化处理所得,或者碳纳米管与聚合物的复合薄膜。
所述的电致发光显示器的制作方法,其中,所述复合薄膜中,聚合物为橡胶或树脂。
所述的电致发光显示器的制作方法,其中,所述辅助电极与导电疏水膜的总厚度大于或等于像素界定层的厚度。
所述的电致发光显示器的制作方法,其中,所述电致发光层包括空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层中的一层或多层,其中发光层为有机发光层或量子点发光层。
所述的电致发光显示器的制作方法,其中,所述顶部透明电极为透明金属或导电氧化物。
所述的电致发光显示器的制作方法,其中,所述顶部透明电极同时沉积在电致发光层和辅助电极上。
所述的电致发光显示器的制作方法,其中,所述电致发光显示器件为正装结构或倒置结构。
一种电致发光显示器,其中,采用如上所述的制作方法制成。
有益效果:本发明通过在TFT平坦层上制作辅助电极,并在辅助电极上端沉积一层导电疏水膜,防止发光元件的各功能层材料在辅助电极上沉积。利用本发明的制作工艺,可实现顶部透明电极与辅助电极的良好接触,进而提高发光器件的亮度均匀性,并且不会对顶部电极造成破坏。
附图说明
图1为本发明一种电致发光显示器件的制作方法较佳实施例的流程图。
图2至图5为本发明一种电致发光显示器件在制作过程中不同阶段的剖视图。
图6为本发明中一种正装结构的电致发光显示器件的结构示意图。
图7为本发明中一种倒置结构的电致发光显示器件的结构示意图。
具体实施方式
本发明提供一种电致发光显示器件及其制作方法,为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确,以下对本发明进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
请参阅图1,图1为本发明一种电致发光显示器件的制作方法较佳实施例的流程图,其包括步骤:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





