[发明专利]一种利用紫外光致亲水性判断HVPE外延生长蓝宝石衬底GaN掺杂类型的方法有效
| 申请号： | 201610205932.9 | 申请日： | 2016-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN105891051B | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 刘铎;贾冉;赵东方;高乃坤;颜为山;张玲 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01N13/00 | 分类号： | G01N13/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 杨树云 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 紫外光 亲水性 判断 hvpe 外延 生长 蓝宝石 衬底 gan 掺杂 类型 方法 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东大学，未经山东大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610205932.9/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
