[发明专利]纤维镀膜设备和对碳纳米管纤维进行镀膜的方法

权利要求书

1.一种纤维镀膜设备，其特征在于，所述纤维镀铜设备包括镀膜腔室、电子束枪、至少一个蒸发坩埚、放丝辊和收丝辊，所述电子束枪、所述蒸发坩埚、所述放丝辊和所述收丝辊均设置在所述镀膜腔室内。

2.根据权利要求1所述的纤维镀膜设备，其特征在于，所述蒸发坩埚设置在所述放丝辊和所述收丝辊的连线的一侧，所述电子束枪设置在所述蒸发坩埚的一侧，以使得所述蒸发坩埚位于所述电子束枪和所述放丝辊与所述收丝辊的连线之间。

3.根据权利要求1或2所述的纤维镀膜设备，其特征在于，所述纤维镀膜设备还包括加热装置，所述加热腔装置用于对所述镀膜腔室进行加热。

4.根据权利要求3所述的纤维镀膜设备，其特征在于，所述加热装置设置在所述放丝辊和所述收丝辊的连线的另一侧。

5.一种利用权利要求1至4中任意一项所述的纤维镀膜设备对碳纳米管纤维进行镀膜的方法，其特征在于，未镀膜的碳纳米管纤维缠绕在所述放丝辊上，所述蒸发坩埚内设置有金属靶材，所述方法包括：

从所述放丝辊上拾取碳纳米管纤维的自由端，固定在所述收丝辊上；

将所述镀膜腔室内部设置为预定的工艺条件；

开启所述电子束枪，对位于所述放丝辊和所述收丝辊之间的所述碳纳米管纤维进行镀膜；

每隔预定时间驱动所述放丝辊和所述收丝辊同步转动，以将镀膜的碳纳米管纤维缠绕在所述收丝辊上；或者，驱动所述收丝辊和所述放丝辊以预定速度同步转动。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述金属靶材包括铜靶材。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，将所述镀膜腔室内部设置为预定的工艺条件的步骤包括：

对所述镀膜腔室进行抽真空，以使得所述镀膜腔室内的气压低于1×10^-2Pa；

对所述镀膜腔室进行加热，并持续对所述镀膜腔室进行抽真空，直至所述镀膜腔室内的温度达到300℃至400℃，所述镀膜腔室内气压低于1×10^-3Pa。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，将所述镀膜腔室内部设置为预定的工艺条件的步骤还包括：

向所述镀膜腔室内通入保护气体。

对所述保护气体进行电离。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述保护气体包括氩气。

10.根据权利要求8或9所述的方法，其特征在于，所述保护气体的流速在20-40sccm之间。

11.根据权利要求7至9中任意一项所述的方法，其特征在于，所述电子束枪的功率在20KW至30KW之间。

12.根据权利要求5至9中任意一项所述的方法，其特征在于，所述预定时间在5s至15s之间。

13.根据权利要求5至9中任意一项所述的方法，其特征在于，所述预定速度在0-20mm/s之间。

14.根据权利要求5至9中任意一项所述的方法，其特征在于，所述方法还包括在将所述碳纳米管纤维设置在所述放丝辊上之前，对所述碳纳米管纤维进行清洗。