[发明专利]音圈电机驱动型扫描微镜在审
| 申请号: | 201610201658.8 | 申请日: | 2016-04-05 |
| 公开(公告)号: | CN105676447A | 公开(公告)日: | 2016-06-15 |
| 发明(设计)人: | 赵照 | 申请(专利权)人: | 合肥芯福传感器技术有限公司 |
| 主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 230031 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 电机 驱动 扫描 | ||
1.一种音圈电机驱动型扫描微镜,包括反射镜面,其特征在于:所述反射镜面由音圈驱动电机驱动,所述音圈驱动电机由海尔贝克永磁阵列和通电线圈组成,所述通电线圈在海尔贝克永磁阵列形成的磁场中带动反射镜面运动。
2.根据权利要求1所述的一种音圈电机驱动型扫描微镜,其特征在于:所述海尔贝克永磁阵列是直线阵列,所述直线阵列可提供反射镜面绕X轴和/或Y轴扭转的驱动力矩。
3.根据权利要求2所述的一种音圈电机驱动型扫描微镜,其特征在于:所述直线阵列磁体结构为每极2块、每极3块或每极4块。
4.根据权利要求1所述的一种音圈电机驱动型扫描微镜,其特征在于:所述海尔贝克永磁阵列是环形阵列,所述环形阵列可提供反射镜面绕X轴和/或Y轴扭转的驱动力矩,或者是提供反射镜面沿Z轴方向上下移动的驱动力矩。
5.根据权利要求1至4所述的一种音圈电机驱动型扫描微镜,其特征在于:所述反射镜面为方形或圆形。
6.根据权利要求1至4所述的一种音圈电机驱动型扫描微镜,其特征在于:所述通电线圈为方形或圆形。
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