[发明专利]基板处理装置及基板处理方法有效
| 申请号： | 201610200531.4 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN106480412B | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 权永秀;罗敬弼;朴钟吾;崔浈烈 | 申请（专利权）人： | 圆益IPS股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国京畿道平*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【说明书】：
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