[发明专利]数字喷射雾化沉积装置

权利要求书

1.一种数字喷射雾化沉积装置，其特征在于，包括数字流体发生器（1）、数字射流导管（3）、雾化气体喷射管（6）和沉积靶（5），所述数字射流导管（3）设置于数字流体发生器（1）上，所述雾化气体喷射管（6）设置于数字射流导管（3）的出口处，所述沉积靶（5）设置于雾化气体喷射管（6）的后方；所述数字流体发生器（1）产生稳定的气泡（2）和液滴（8）间隔流动，并由所述数字射流导管（3）向所述雾化气体喷射管（6）定向喷射；所述雾化气体喷射管（6）自上游输入压力气体，所形成气射流冲击由所述数字射流导管（3）入射的液滴（8），使液滴（8）发生加速、变形或者破碎，并在所述雾化气体喷射管（6）的出口向所述沉积靶（5）方向射出雾化液滴群（4），实现雾化沉积过程。

2.根据权利要求1所述的数字喷射雾化沉积装置，其特征在于，所述数字流体发生器（1）能够产生气、液间隔的周期性或者非周期性流动；液滴（8）的生成采用由流动内在属性产生的被动的自发方式，或者由外部驱动产生的受控的主动方式；所生成的液滴（8）包括单相液滴或者多相液滴或者多相复合液滴；多相复合液滴材料之间互溶或者不互溶。

3.根据权利要求1所述的数字喷射雾化沉积装置，其特征在于，所述雾化气体喷射管（6）是自数字射流导管（3）入射的液滴（8）发生雾化并向下游疏运的主要区域，根据不同的雾化要求有收敛或者平直或者扩张内管形状。

4.根据权利要求1所述的数字喷射雾化沉积装置，其特征在于，所述数字射流导管（3）和所述雾化气体喷射管（6）之间位置相对固定或者存在沿喷射方向的受控相对运动。

5.根据权利要求1所述的数字喷射雾化沉积装置，其特征在于，所述沉积靶（5）是模具或者是沉积物本身，在空间位置固定或者存在多自由度运动。