[发明专利]具有自修复作用的固态薄膜集成电路电容器及其制备方法有效
| 申请号： | 201610197451.8 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN105869888B | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 姚曼文;李菲;陈建文;彭勇;苏振;徐开恩;姚熹 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | H01G4/33 | 分类号： | H01G4/33;H01G4/015;H01G4/12 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 林君如 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 修复 作用 固态 薄膜 集成电路 电容器 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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