[发明专利]在原位从半导体处理模块移除和更换消耗部件的系统

权利要求书

1.一种群集工具组件，包括：

真空传送模块；

具有连接到所述真空传送模块的第一侧的处理模块；

具有耦接到所述处理模块的第二侧的第一侧的隔离阀；和

耦接到所述隔离阀的第二侧的更换站，所述更换站包括更换操作器和部件缓冲区，所述部件缓冲区包括用于容纳新的或使用过的消耗部件的多个隔室；

所述处理模块具有升降机构，以使安装在所述处理模块中的消耗部件能放置到升高位置，所述升高位置使所述更换操作器能访问，以使所述消耗部件能从所述处理模块移除并存储至所述部件缓冲区的隔室，

启用所述更换站的所述更换操作器以将用于所述消耗部件的更换件从所述部件缓冲区安装回到所述处理模块；

其中，所述升降机构被配置为通过所述更换操作器接收提供用于更换的所述消耗部件并降低所述消耗部件至安装位置；

其中，在所述处理模块和所述更换站保持在真空状态下时，通过所述更换操作器和所述处理模块执行所述更换。

2.如权利要求1所述的群集工具组件，其中，所述隔离阀、所述更换站和所述处理模块以接口方式连接控制器，所述控制器包括用于在所述处理模块保持在所述真空状态下时协调所述更换站与所述处理模块之间的访问的传送逻辑器和真空状态控制装置。

3.如权利要求2所述的群集工具组件，其中，所述控制器包括用于在所述处理模块保持在所述真空状态下时协调所述更换站与所述处理模块之间的访问的传送逻辑器和真空状态控制装置。

4.如权利要求2所述的群集工具组件，其中所述更换站包括耦接到泵的真空控制装置，所述真空控制装置与所述控制器以接口方式连接，以协调所述泵的操作以在所述消耗部件的更换过程中将所述更换站保持在所述真空状态下。

5.如权利要求1所述的群集工具组件，其中所述处理模块被保持在真空 状态下使得在所述消耗部件的更换之后所述处理模块返回到激活操作之前所述处理模块的再调节能减少。

6.如权利要求1所述的群集工具组件，

其中所述消耗部件是被配置为当衬底被设置在所述处理模块的静电卡盘上时围绕所述衬底的边缘环；

其中所述升降机构包括多个升降销和致动器，使得安装在所述处理模块中的所述边缘环能放置到所述升高位置；

致动器驱动器连接到所述致动器；和

控制器以接口方式连接所述致动器驱动器和所述更换站，以使所述边缘环的更换能协调。

7.如权利要求6所述的群集工具组件，其中所述致动器被连接到功率源，所述功率源用于通过所述升降销将功率供应给所述消耗部件，其中所供应的功率用于提供热量给所述消耗部件。

8.一种群集工具组件，包括：

具有第一侧和第二侧的真空传送模块，所述真空传送模块包括机械手；

具有第一侧和第二侧的第一隔离阀，所述第一隔离阀的所述第一侧耦接到所述真空传送模块的所述第一侧；

耦接到所述第一隔离阀的所述第二侧的更换站，所述更换站具有部件缓冲区，所述部件缓冲区包括用于容纳新的或使用过的消耗部件的多个隔室；

具有第一侧和第二侧的第二隔离阀，所述第二隔离阀的所述第二侧耦接到所述真空传送模块的所述第二侧；和

耦接到所述第二隔离阀的所述第一侧的处理模块；

所述处理模块具有升降机构，以使安装在所述处理模块中的消耗部件能移动到升高位置，所述升高位置使得所述真空传送模块的所述机械手能访问，以使所述消耗部件能从所述处理模块移除并存储在所述更换站的所述部件缓冲区中，

所述真空传送模块的所述机械手被启用以安装来自所述部件缓冲区的用于所述消耗部件的更换件至所述处理模块，

其中，所述升降机构被配置为接收被提供用于由所述机械手进行更换的 所述消耗部件并降低所述消耗部件至安装位置，

其中，在所述更换站、所述真空传送模块和所述处理模块被保持在真空状态下时，由所述机械手和所述处理模块的所述升降机构执行更换。