[发明专利]用于曝光机的UV-LED混合波长光源系统在审
申请号: | 201610194248.5 | 申请日: | 2016-03-30 |
公开(公告)号: | CN105629680A | 公开(公告)日: | 2016-06-01 |
发明(设计)人: | 张文明;汤正光 | 申请(专利权)人: | 昆山尊宸电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
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地址: | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 曝光 uv led 混合 波长 光源 系统 | ||
技术领域
本发明涉及曝光机的光源领域,具体而言,涉及一种用于曝光 机的UV-LED混合波长光源系统。
背景技术
一般曝光机目前所采用的曝光光源绝大部分都还在使用金属卤 素曝光灯管,但此类型的灯管有以下几个缺点:1有效使用寿命仅 为800-1000小时,须经常更换灯管,且光衰减率达30%以上,严 重影响了曝光机的生产效率及生产质量。2.耗电量大、难点灯、 效率低、热量高。3.启动后到达所需的紫外线工作能量强度非常 慢(15分钟以上)且必须一直亮,不但造成不必要的电力耗损也缩 短了金属卤素曝光灯管的工作寿命。
相对于UV-LED光源则有以下的优点:1.UV-LED灯的寿命可达 20000-30000小时,光衰减度仅有3%以内。2.UV-LED的工作方式 是可以仅在需要紫外线时瞬间点亮,减少了更换灯管的时间。3. 低耗电量,相同照度耗电量仅需金属卤素曝光灯管的20%。
所以若能尽快将曝光机所使用的金属卤素曝光灯管光源全部换 成UV-LED光源,即可明显的提升产品质量及效率,并大大降低生产 费用。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术存在的以上问题,提供一种用 于曝光机的UV-LED混合波长光源系统,能够提升曝光机的产品质量 和效率,降低生产费用,降低曝光机的耗电量。
为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本发明通过以下技 术方案实现:
一种用于曝光机的UV-LED混合波长光源系统,其特征在于:包 括玻璃管、UV-LED灯板、旋转机构、导电机构、冷却机构、和安装 支撑座,所述冷却机构与所述旋转机构通过齿轮传动连接,所述安 装支撑座为两个且分别位于所述冷却机构的两侧,所述冷却机构转 动定位在所述安装支撑座中,所述UV-LED灯板固定在所述冷却机构 上,所述玻璃管通过两个玻璃管固定套固定连接在所述冷却机构上, 所述玻璃管罩设住所述UV-LED灯板,所述导电机构固定安装在所述 冷却机构上,所述导电机构位于所述安装支撑座中,所述导电机构 与所述UV-LED灯板电性连接。
作为本发明的进一步改进,所述冷却机构包括冷却主轴管、进 水管和出水管,所述进水管和出水管固定连接在所述冷却主轴管的 两端并与所述冷却主轴管连通,还包括进水接头和出水接头,所述 进水接头和所述出水接头分别固定连接在所述进水管和出水管的端 部。
作为本发明的进一步改进,所述两个玻璃管固定套分别固定套 设在所述冷却主轴管与所述进水管和出水管的衔接处,所述玻璃管 的两端分别固定连接在所述两个玻璃管固定套上。
作为本发明的进一步改进,所述旋转机构包括电动马达、固定 板、第一滚珠轴承和第一、二齿轮,所述电动马达固定在所述固定 板上,所述第一齿轮固定套设在所述电动马达的转轴上,所述第二 齿轮固定套设在所述进水管上,所述第一、二齿轮相互啮合,所述 固定板的中间开设有通孔,所述第一滚珠轴承固定在所述通孔中, 所述进水管的头部转动穿设在所述第一滚珠轴承中。
作为本发明的进一步改进,所述UV-LED灯板包括若干电路板和 若干UV-LED芯片组,所述UV-LED芯片组均匀间隔固定在所述电路板 上,所述电路板为长方形,所述电路板相互柔性连接并固定环绕在 所述冷却主轴管的表面上。
作为本发明的进一步改进,所述导电机构包括两个导电环,所 述两个导分别固定套设在所述进水管和出水管上,所述导电环与所 述UV-LED灯板电性连接。
作为本发明的进一步改进,所述安装支撑座中设有供所述导电 环放置的定位孔,所述安装支撑座中固定有第二滚动轴承,所述第 二滚动轴承位于所述导电环远离所述玻璃管固定套的一侧,所述进 水管和出水管分别转动穿设在所述第二滚动轴承中,所述进水管和 出水管穿出均所述安装支撑座。
作为本发明的进一步改进,所述冷却主轴管为六边形管,所述 进水管和出水管均为圆形管,所述冷却主轴与所述进水管和出水管 一体成型。
作为本发明的进一步改进,所述UV-LED芯片组的包含五种波长 范围,分别为:365-370nm、380-390nm、390-410nm、420-430nm、 430-450nm。
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