[发明专利]一种可动镜片调整机构

说明书

本发明公开了一种可动镜片调整机构，包括镜片单元和用于支撑并固定所述镜片单元的柔性镜座，所述柔性镜座用于调整所述镜片单元在垂直于镜面所在平面的方向上的位置。本发明通过在柔性镜座的刚性构件上设置驱动机构和铰链结构，所述铰链结构为由刚性构件开槽形成若干支点和杠杆互连的对称结构，所述驱动机构带动刚性构件和铰链结构运动，从而带动镜片单元进行轴向调整，结构简单、操作简便；所述驱动机构包括第一驱动电机和第二驱动电机，共同驱动柔性镜座运动，避免了单电机驱动镜片单元运动时由于调整机构变形造成镜片单元平移过程中发生倾斜，保证整个运动机构在轴向运动无倾斜，本发明适用于圆形镜片和方形镜片，适用范围广、效果稳定可靠。

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，具体涉及一种可动镜片调整机构。

背景技术

在光刻投影物镜中，由于镜片的制造和装配误差，使得物镜的成像像质变差，为了解决这一问题，一般通过设置可动镜片组，该可动镜片组包括一个可动镜片和一个调整机构，该调整机构对可动镜片进行调整以补偿镜片的制造和装配误差。

现有技术中提供了一种可动镜组，由三个均布的刚性构件支撑可动镜片，通过刚性构件的弹性变形实现可动镜片的移动。此外现有技术中还提供一种可动镜组，由三个均布的杠杆机构支撑可动镜片，通过杠杆的转动实现可动镜片的移动。然而上述两个可动镜组均存在一定的局限性，一是结构比较复杂，安装操作繁琐；二是需要设置3个支撑点的位置，以实现镜片的运动，仅适用于调整圆形镜片，然而对于长条形矩形镜片，从结构布局上无法实现3点支撑，因此具有局限性。

发明内容

本发明提供了一种可动镜片调整机构，以解决现有技术中存在的结构复杂、操作繁琐、以及无法实现方形镜片的轴向调整的问题。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种可动镜片调整机构，包括镜片单元和用于支撑并固定所述镜片单元的柔性镜座，所述柔性镜座用于调整所述镜片单元在垂直于镜面所在平面的方向上的位置。

进一步的，所述镜片单元包括一方形镜片或圆形镜片。

进一步的，所述柔性镜座包括刚性构件、设于所述刚性构件上的驱动机构和铰链结构，所述铰链结构为由所述刚性构件开槽形成若干支点和杠杆互连的对称结构，所述驱动机构带动刚性构件和铰链结构运动，从而带动镜片单元沿轴向运动。

进一步的，所述支点设有两个，所述刚性构件中相对的两条侧边上设有第一开槽和第二开槽，所述第一开槽和第二开槽分别对应第一支点和第二支点，两个所述支点构成两个柔性运动副。

进一步的，所述第一支点位于所述刚性构件的侧边的中部，所述第二支点设于所述刚性构件的侧边的其中一端。

进一步的，所述杠杆包括第一杠件、第二杠件和第三杆件，所述第一杠件和第二杠件之间通过所述第一支点连接，所述第二杠件与第三杆件之间通过所述第二支点连接，所述第一杠件、第二杠件、第三杆件构成双摇杆柔性铰链机构，所述镜片单元固设于所述第三杆件上。

进一步的，所述第一杠件、第二杠件和第三杆件均采用抗疲劳强度高的刚性材料制成。

进一步的，所述第二杠件设于所述第一杠件上方，所述第二杠件上设有与所述第三杆件相适配的第一通孔，所述第三杆件设于所述第一通孔内，所述第三杆件上设有与所述镜片单元相适配的第二通孔，所述镜片单元固设于所述第二通孔内。

进一步的，所述驱动机构包括第一驱动电机和第二驱动电机，所述第一驱动电机和第二驱动电机分别设于所述第二杠件和第三杆件上远离所述第二支点的一端，所述第一驱动电机和第二驱动电机的底部均与所述第一杠件连接，所述第一驱动电机驱动第二杠件使第二支点绕第一支点旋转，带动第二支点沿垂直于镜面所在平面的方向上运动，所述第二驱动电机驱动第三杆件沿垂直于镜面所在平面的方向上运动使镜片单元由倾斜状态变为水平状态。