[发明专利]一种切割式多圈QFN/DFN封装件及其制造方法在审
| 申请号: | 201610190725.0 | 申请日: | 2016-03-30 |
| 公开(公告)号: | CN105789151A | 公开(公告)日: | 2016-07-20 |
| 发明(设计)人: | 郭玲芝;吕海兰;李万霞 | 申请(专利权)人: | 华天科技(西安)有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L21/56 |
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| 地址: | 710018 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 切割 式多圈 qfn dfn 封装 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及微电子封装、QFN/DFN封装领域,具体是一种切割式多圈QFN/DFN封装件及其制造方法。
背景技术
现有技术存在的问题:
1、现有的多圈QFN/DFN产品采用二次蚀刻工艺,加工工艺复杂;
2、二次蚀刻成本很高;
3、二次蚀刻对环境污染较大,影响产品可靠性;
4、现有的多圈QFN/DFN无法电镀,只能采用镍钯金框架,但镍钯金框架打镀钯铜线比较困难。目前行业大多用金线,提高了封装成本。
发明内容
针对上述现有技术存在的问题,本发明提供了一种切割式多圈QFN/DFN封装件及其制造方法,具有工艺简单、成本低、污染小的特点。
一种切割式多圈QFN/DFN封装件,主要由多圈框架、镀银层、芯片、焊线、塑封体和镀锡层组成;所述多圈框架上部有镀银层,所述从镀银层侧向多圈框架内部有凹槽,芯片与多圈框架连接,焊线连接芯片和镀银层,塑封体包裹镀银层、芯片、焊线、多圈框架的上部,填充凹槽;所述多圈框架下部有镀锡层,从镀锡层侧向多圈框架内部有切割槽,切割槽与凹槽贯通。
一种切割式多圈QFN/DFN封装件的制造方法,具体按照以下步骤进行:
第一步,上芯、压焊、塑封;
第二步,电镀,在多圈框架下部镀镀锡层;
第三步,半切割,从镀锡层侧向多圈框架内部切割,并与凹槽贯通。
本发明优点:
1、采用特殊结构的框架,用半切割分离的方法替代蚀刻,形成多圈QFN/DFN(三圈、四圈甚至更多);
2、切割分离的特点:
(1)工艺简单;
(2)成本低;
(3)塑封完成后可进行背面电镀;
(4)半切割工艺对环境污染较小,没有用蚀刻的化学药水,不会造成离子污染。
附图说明
图1为本封装件的多圈框架图;
图2为本封装件镀锡图;
图3为本封装件切割图。
图中,1为多圈框架;2为镀银层;3为芯片;4为焊线;5为塑封体;6为镀锡层;7为凹槽;8为切割槽。
具体实施方式
下面根据附图对本发明做一具体说明。
一种切割式多圈QFN/DFN封装件,主要由多圈框架1、镀银层2、芯片3、焊线4、塑封体5和镀锡层6组成;所述多圈框架1上部有镀银层2,所述从镀银层2侧向多圈框架1内部有凹槽7,芯片3与多圈框架1连接,焊线4连接芯片3和镀银层2,塑封体5包裹镀银层2、芯片3、焊线4、多圈框架1的上部,填充凹槽7;所述多圈框架1下部有镀锡层6,从镀锡层6侧向多圈框架1内部有切割槽8,切割槽8与凹槽7贯通。
图1为多圈框架1结构图。
一种切割式多圈QFN/DFN封装件的制造方法,具体按照以下步骤进行:
第一步,上芯、压焊、塑封,如图2所示;
第二步,电镀,在多圈框架1下部镀镀锡层6,如图2所示;
第三步,半切割,从镀锡层6侧向多圈框架1内部切割,并与凹槽7贯通,如图3所示。
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