[发明专利]一种有机材料蒸发装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种蒸发装置，尤其涉及一种有机材料蒸发装置。

背景技术

真空热蒸发镀膜在有机EL(ElectroLuminescence)电致发光，有机太阳能电池，金属电极，食品包装等行业被广泛应用，以及相应薄膜器件的产业化中应用也非常广泛，其基本原理是利用加热的手段使源受热蒸发，由固相/液相变成气相，然后气体分子或原子在蒸发源与基板（衬底）之间输运，最后蒸发的分子或原子在基板（衬底）上沉积。

在有机发光显示装置中，发射可见光的有机发光层和接近有机发光层的有机层通过利用各种方法形成。尤其是真空沉积方法由于其简单的工艺而经常被使用。在真空沉积方法中，将粉状或固态的沉积材料填充到熔炉中，并通过对熔炉进行加热而在期望的区域上形成沉积膜，而现有技术中，蒸发设备结构复杂，安装维修复杂，功耗大，成本高。

发明内容

本发明的目的是解决上述现有技术的不足，提供一种有机材料蒸发装置。

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为：

一种有机材料蒸发装置，包括陶瓷封接电极、连接套和蒸发源，所述连接套分别与陶瓷封接电极和蒸发源相密封配接，并且所述陶瓷封接电极的导电柱延伸至所述连接套的内部，

其中，所述蒸发源包括与连接套相接的基座，所述基座背离所述连接套的一侧设置有陶瓷座，所述陶瓷座上设置有坩埚，所述坩埚内绕制有加热丝，所述加热丝的引脚穿过坩埚的底部、陶瓷座及基座与所述陶瓷封接电极的导电柱相导通连接。

进一步地，所述蒸发源还包括一防护罩，所述防护罩一侧与所述基座相固接，所述陶瓷座、坩埚均位于所述防护罩的内腔。

进一步地，所述防护罩与所述基座之间为螺纹配接。

进一步地，所述防护罩为圆筒状不锈钢防护罩。

进一步地，所述基座上设置有一用于测温的热电偶，所述热电偶的测温端穿过所述陶瓷座与所述坩埚的外表面相抵接，所述热电偶的引脚与所述陶瓷封接电极的导电柱相导通连接。

进一步地，所述陶瓷封装电极与连接套之间为焊接，并且陶瓷封装电极与连接套之间设置有密封圈。

进一步地，所述坩埚可拆卸插接于所述陶瓷座上。

进一步地，所述坩埚至少包括石英坩埚、氧化铝陶瓷坩埚。

进一步地，所述坩埚内加热丝绕制呈螺旋状。

进一步地，所述加热丝为钽丝或坝塔尔合金丝。

本发明的有益效果主要体现在：

1.结构简单紧凑，安装及维修均较为便捷；

2.增设了热电偶，能在加热过程中直观的监测温度，有利于控制材料的蒸发；

3.采用钽加热丝或钨加热丝作为加热介质，可以达到较高温度，加热速度快，效率高，耗能低；

4.具有防护罩，起到隔热防污等作用，降低了热能损耗。

附图说明

图1是本发明一种有机材料蒸发装置的结构示意图；

图2是本发明一种有机材料蒸发装置的截面结构示意图。

具体实施方式

本发明提供一种有机材料蒸发装置。以下结合附图对本发明技术方案进行详细描述，以使其更易于理解和掌握。

如图1和图2所示，一种有机材料蒸发装置，包括陶瓷封接电极1、连接套2和蒸发源3，连接套2分别与陶瓷封接电极1和蒸发源3相密封配接，并且陶瓷封接电极1的导电柱4延伸至连接套2的内部，形成一个整体的部件，可安装至真空镀膜腔体上。其中，蒸发源3包括与连接套2相接的基座5，基座5背离连接套2的一侧设置有陶瓷座6，陶瓷座6上设置有坩埚7，坩埚7内绕制有加热丝8，加热丝8的引脚穿过坩埚7的底部、陶瓷座6及基座5与陶瓷封接电极1的导电柱4相导通连接。

更具体的描述，陶瓷封装电极1与连接套2之间为焊接，并且陶瓷封装电极与连接套之间设置有密封圈11，密封性能好，陶瓷封装电极的主体采用304不锈钢，且其安装接口为KF25或KF40快卸法兰，陶瓷封装电极中间具有四根导电柱，导电柱优选为铜电极，铜电极与陶瓷封装电极的主体之间采用陶瓷材料绝缘并焊接密封，其中两根作为加热丝的供电，两根作为热电偶9的信号。基座5与连接套2之间由螺钉进行固定，基座5优选为不锈钢材质，其上开设有供热电偶9、加热丝8引脚穿过的通孔。陶瓷座6为氧化铝陶瓷制得，其上亦设有供加热丝8及热电偶9穿过的通孔。坩埚7可拆卸插接于陶瓷座6上。