[发明专利]一种蓝宝石长晶实验室用小型微波动冷却水系统

说明书

技术领域

本发明涉及蓝宝石晶体制备工艺技术领域，尤其涉及一种蓝宝石长晶实验室用小 型微波动冷却水系统。

背景技术

蓝宝石又称白宝石，是世界上硬度仅次于金刚石的晶体材料，由于具有优良的物 理、机械、化学及红外透光性能，一直是微电子、航空航天、军工等领域急需的材料，尤其是 光学级大尺寸蓝宝石材料，由于其具有性能稳定、市场需求量大、综合利用率及产品附加值 高等特点，成为近年国内外研究开发和产业化热点。

在蓝宝石生长过程中，对于蓝宝石生长设备的热场，一直使用的都是循环水冷却 的方式来保证整个系统的温度稳定。水温的波动直接影响到整个长晶过程的稳定，严重影 响蓝宝石的质量，那么设计一种用于蓝宝石领域或者相似工作原理的长晶领域实验室用的 小型微波动冷却水系统成为一种亟需解决的问题。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种蓝宝石长晶实验室用小型微波动冷却水系统，以 抑制水温波动，提高晶体生长的质量。

为实现上述目的，本发明提供一种蓝宝石实验室用小型微波动冷却水循环系统， 该冷却水循环系统包括依次通过不锈钢管道连接的软水设备1、混水容器2、风式冷水设备3 和恒温储水容器4，其中：软水设备1进水口连接自来水管道，软水设备1出水口连接至混水 容器2侧面上部的进水口；混水容器2侧面上部设置有一个连接至蓝宝石长晶设备的出水 口，混水容器2侧面底部设置有一个连接至风式冷水设备3底部回水口12的出水口；风式冷 水设备3底部设置有连接至混水容器2高位进水口的出水口13；混水容器2在侧面底部还设 置有一个出水口连接至恒温储水容器4的进水口，恒温储水容器4的出水口连接至蓝宝石长 晶设备的进水口。

上述方案中，在混水容器2与恒温储水容器4之间设置有水泵8，用于将混水容器2 中的水泵入恒温储水容器4。所述水泵8的进水口连接至混水容器2的低位，所述水泵8的出 水口连接至恒温储水容器4的高位。

上述方案中，在恒温储水容器4与蓝宝石长晶设备之间设置有冷冻水泵5，用于将 恒温储水容器4中的水泵入蓝宝石长晶设备。所述恒温储水容器4底部出水口连接于冷冻水 泵5的进水口，冷冻水泵5的出水口连接至蓝宝石长晶设备。

上述方案中，在混水容器2内部低位设置有混水容器温度传感器6，用于监测混水 容器2内部水的温度。

上述方案中，在恒温储水容器4内部低位设置有恒温储水容器温度传感器7，用于 监测恒温储水容器4内部水的温度。

上述方案中，在连接于软水设备1出水口的混水容器2侧面上部的进水口还设置有 混水容器液位计9，用于监测混水容器2中的液面高度。

上述方案中，在连接于恒温储水容器4高位的水泵8的出水口还设置有恒温储水容 器高位液位计10，用于监测恒温储水容器4中的液面高度，进而控制整个系统的制水时间， 防止过量制水造成的水量溢出。

上述方案中，在混水容器2顶部还设置有搅拌设备11，搅拌设备11的搅拌子伸向混 水容器2的内部。

从上述技术方案可以看出，本发明提供的蓝宝石长晶实验室用小型微波动冷却水 系统，利用该冷却水循环系统，通过冷却水系统中混水容器，将蓝宝石系统回流的热水与风 式冷水机中的冷水混合，在混水容器中把水温控制在所需温度，然后再把水输送到恒温储 水容器，保持水温的稳定，然后再将温度稳定的水输送到蓝宝石长晶系统，可以使泡生法蓝 宝石长晶设备冷却水系统出水温度变化控制在0.1度以内，减少了水温波动对晶体生长过 程的影响，提高了晶体生长的质量。

本发明的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

图1是本发明提供的蓝宝石长晶实验室用小型微波动冷却水系统的结构示意图。

附图标记说明

1软水设备2混水容器

3风式冷水设备4恒温储水容器

5冷冻水泵6混水容器温度传感器

7恒温储水容器温度传感器8水泵

9混水容器液位计10恒温储水容器液位计

11搅拌设备12回水口

13出水口14冻水回水管。

具体实施方式