[发明专利]与外涂光刻胶一起使用的涂料组合物在审
| 申请号： | 201610177374.X | 申请日： | 2010-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN105824197A | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | A·赞皮尼;G·B·韦顿;V·简恩;刘骢;S·克雷;O·昂格伊 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;C08G73/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 一起 使用 涂料 组合 | ||
【说明书】：
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