[发明专利]一种用于电沉积平面件的装置

权利要求书

1.一种用于电沉积平面件的装置，包括外槽（6）、放置于外槽（6）内的电沉积槽（4）、阴极基底（2）和阳极（13），其特征在于：它还包括稳流板（7）和搅拌板（3）；所述的稳流板（7）上设有均匀分布的通孔B（10）；所述的电沉积槽（4）由稳流板（7）分隔为阴极槽区（1）和阳极槽区（11）；所述的阴极基底（2）和阳极（13）分别设置于阴极槽区（1）和阳极槽区（11）内，且所述的阴极基底（2）与所述的阳极（13）相互平行；所述的搅拌板（3）设置于阴极基底（2）与稳流板（7）之间，且与阴极基底（2）平行；所述的搅拌板（3）上设有均匀分布的通孔A（8）；所述的搅拌板（3）连接于外驱动源上，在竖直平面内作平动运动；所述的电沉积槽（4）的侧板（15）和底板（17）上均设有横截面形状相同的凹槽（14）；所述的凹槽的底面（16）设有排液孔（5）；所述的阳极槽区（11）设有进液孔（9）；所述的外槽（6）上设有出液孔（12）。

2.根据权利要求1所述为一种用于电沉积平面件的装置，其特征在于：所述的搅拌板（3）的侧面与凹槽（14）正对。

3.根据权利要求1所述为一种用于电沉积平面件的装置，其特征在于：所述的搅拌板（3）与阴极基底（2）之间的距离为2~5mm。

4.根据权利要求1所述为一种用于电沉积平面件的装置，其特征在于：所述的阴极基底（2）、阳极（13）和稳流板（7）的长度与电沉积槽（4）的槽深相等，所述的阴极基底（2）、阳极（13）和稳流板（7）的宽度与电沉积槽（4）的宽度相等。

5.根据权利要求1所述为一种用于电沉积平面件的装置，其特征在于：所述的排液孔（5）的圆心与阴极基底（2）之间的距离为2~5mm。

6.根据权利要求1所述为一种用于电沉积平面件的装置，其特征在于：所述的通孔A（8）的直径为0.5~1mm、孔间距为2~4mm。

7.根据权利要求1所述为一种用于电沉积平面件的装置，其特征在于：所述的通孔B（10）的直径为0.5~1mm、孔间距为2~4mm。

8.根据权利要求1所述为一种用于电沉积平面件的装置，其特征在于：所述的排液孔（5）的直径为0.3~1mm、孔间距为4~10mm。

9.根据权利要求1所述为一种用于电沉积平面件的装置，其特征在于：所述的阳极（13）表面积是阴极基底（2）表面积的1.5~2倍。

10.根据权利要求1所述为一种用于电沉积平面件的装置，其特征在于：所述的电沉积槽（4）、外槽（6）、稳流板（7）和搅拌板（3）分别为耐酸碱腐蚀的电绝缘非金属电沉积槽、耐酸碱腐蚀的电绝缘非金属外槽、耐酸碱腐蚀的电绝缘非金属稳流板和耐酸碱腐蚀的电绝缘非金属搅拌板。