[发明专利]掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置

权利要求书

1.一种掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，具有底板(1)，其特征是：所述的底板(1)两端分别设有定位侧板(2)，位于所述定位侧板(2)之间的底板(1)上相距设有：一对可作相近或相远移动而吸附住待检测掩膜板的吸盘体(3)，所述吸盘体(3)之间的底板(1)上设有背光源(4)，吸盘体(3)内设有气体通道，吸盘体(3)侧面连接有若干个与气体通道相通的气接头(5)，搁置掩膜板处的吸盘体(3)上表面具有与气体通道相通的长凹槽(6)，所述的定位侧板(2)上设有从吸盘体(3)两端将已定位好位置的吸盘体(3)夹紧固定的紧固旋钮(7)。

2.根据权利要求1所述的掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，其特征是：所述的底板(1)上位于吸盘体(3)两端分设有直线导轨(8)，吸盘体(3)底面与直线导轨(8)滑动连接。

3.根据权利要求1所述的掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，其特征是：所述的定位侧板(2)上开设有对应不同规格掩膜板的限位孔(9)，吸盘体(3)两端具有与所述限位孔(9)对应的凹坑，限位孔(9)内设有卡入凹坑而定位吸盘体(3)的限位销(10)。

4.根据权利要求3所述的掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，其特征是：所述的定位侧板(2)上对应限位孔(9)位置具有长槽孔(11)，紧固旋钮(7)通过长槽孔(11)与吸盘体(3)两端螺纹连接而将吸盘体(3)固定。

5.根据权利要求1所述的掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，其特征是：所述的吸盘体(3)上位于长凹槽(6)两端设有通过位置移动而定位不同规格掩膜板的定位挡销(12)。

6.根据权利要求1所述的掩膜板检测用带背光多功能吸盘装置，其特征是：所述的吸盘体(3)上位于长凹槽(6)外侧设有确保吸盘体(3)上表面气体通道密封性的吸盘盖(13)。