[发明专利]石墨烯辅助硅片湿法制绒的方法

权利要求书

1.一种石墨烯辅助硅片湿法制绒的方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）制备悬浮液：将石墨烯或者氧化石墨烯粉末加入到溶剂中，进行超声波分散，形成悬浮液，所述悬浮液中石墨烯或者氧化石墨烯浓度范围为0.00001-100mg/ml，所述溶剂为水或酒精；

（2）硅片浸泡：将待处理的硅片用氨水+双氧水的混合液进行浸泡；

（3）预处理硅片：将经步骤（1）制备的悬浮液涂覆在经步骤（2）处理后的硅片表面，并进行烘干，即在所述硅片表面形成了厚度均匀的，但不连续的岛状石墨烯或者氧化石墨烯的薄层；

（4）制绒：将经步骤（3）处理后的硅片进行湿法化学腐蚀，采用富硝酸体系腐蚀溶液对所述硅片进行腐蚀，得绒面，所述腐蚀溶液的成分按摩尔配比为H₂O：HF：HNO₃=（2-3）:1:（3-3.5），腐蚀反应的温度为8-10℃，腐蚀反应的时间为60-90秒。

2.如权利要求1所述的石墨烯辅助硅片湿法制绒的方法，其特征在于，所述硅片为多晶硅片。

3.如权利要求1所述的石墨烯辅助硅片湿法制绒的方法，其特征在于，步骤（1）中，所述石墨烯或者氧化石墨烯的粒径为0.1-20微米。

4.如权利要求1或2或3所述的石墨烯辅助硅片湿法制绒的方法，其特征在于，步骤（1）中，所述悬浮液的石墨烯或者氧化石墨烯的浓度范围为0.05-0.1mg/ml。

5.如权利要求1或2或3所述的石墨烯辅助硅片湿法制绒的方法，其特征在于，步骤（3）中，所述涂覆的方式为喷淋、涂刷、浸渍中的一种。

6.如权利要求4所述的石墨烯辅助硅片湿法制绒的方法，其特征在于，步骤（3）中，所述涂覆的方式为喷淋、涂刷、浸渍中的一种。