[发明专利]时分波分复用无源光网络终端收发集成芯片的制作方法

权利要求书

1.一种时分波分复用无源光网络终端收发集成芯片的制作方法，包括 以下步骤：

步骤1：取一宽带滤波器；

步骤2：在宽带滤波器的后端分别连接有复用器阵列波导光栅输出波 导和解复用器阵列波导光栅输入波导；

步骤3：该复用器阵列波导光栅输出波导的输出端与复用第一平板波 导区连接，该解复用器阵列波导光栅输入波导的输入端与解复用第一平板 波导区连接；

步骤4：该复用第一平板波导区和解复用第一平板波导区分别与复用 器4通道阵列波导光栅和解复用器4通道阵列波导光栅连接；

步骤5：该复用器4通道阵列波导光栅和解复用器4通道阵列波导光 栅的另一端分别连接有复用第二平板波导区和解复用第二平板波导区；

步骤6：该复用第二平板波导区和解复用第二平板波导区分别与复用 器阵列波导光栅输入波导和解复用器阵列波导光栅输出波导连接；

步骤7：该复用器阵列波导光栅输入波导的另一端与10Gbps电吸收调 制激光器的输出端连接，该解复用器阵列波导光栅输出波导的另一端与 10Gbps探测器的输入连接。

2.根据权利要求1所述的时分波分复用无源光网络终端收发集成芯片 的制作方法，其中该复用器4通道阵列波导光栅的波长间隔为100GHz，波 长范围为1524nm-1527nm。

3.根据权利要求1所述的时分波分复用无源光网络终端收发集成芯片 的制作方法，其中解复用器4通道阵列波导光栅的波长间隔为100GHz，波 长范围1596nm-1603nm。

4.根据权利要求1所述的时分波分复用无源光网络终端收发集成芯片 的制作方法，其中所述复用第一平板波导区和解复用第一平板波导区采用 交叉倒扣形式放置；该复用第二平板波导区和解复用第二平板波导区采用 交叉倒扣形式放置。

5.根据权利要求1所述的时分波分复用无源光网络终端收发集成芯片 的制作方法，其中复用器4通道阵列波导光栅和解复用器4通道阵列波导 光栅是具有周期性循环功能的阵列波导光栅。

6.根据权利要求1所述的时分波分复用无源光网络终端收发集成芯片 的制作方法，其中复用器阵列波导光栅输入波导与4个10Gbps电吸收调 制激光器集成，其集成方式是混合集成或单片集成；解复用器阵列波导光 栅输出波导与4个10Gbps探测器集成，其集成方式是混合集成或单片集 成。

7.根据权利要求6所述的时分波分复用无源光网络终端收发集成芯片 的制作方法，其中混合集成4个10Gbps电吸收调制激光器是通过倒装焊 装配；单片集成4个10Gbps电吸收调制激光器是通过刻蚀再生长电吸收 调制量子阱激光器。

8.根据权利要求6所述的时分波分复用无源光网络终端收发集成芯片 的制作方法，其中混合集成4个10Gbps探测器是通过45度机械切割槽， 再溅射金属反射镜，接收信号面向下倒装焊；单片集成4个10Gbps探测 器是通过刻蚀再生长波导探测器。

9.根据权利要求1所述的时分波分复用无源光网络终端收发集成芯片 的制作方法，其中复用器阵列波导光栅输出波导和解复用器阵列波导光栅 输入波导通过一个宽带滤波器合成一根上传下载波导，宽带滤波器是嵌入 的薄膜滤波，或是波导型定向耦合器或马赫-曾德尔干涉器。

10.根据权利要求1所述的时分波分复用无源光网络终端收发集成芯 片的制作方法，其中所述用器4通道阵列波导光栅和解复用器4通道阵列 波导光栅的材料为二氧化硅、绝缘体上硅、磷化铟、BCB、Epoclad/Epocore、 ZP41、ZP51、PMMA或SU8。