[发明专利]MEMS结构及其制造方法

权利要求书

1.一种MEMS结构，其特征在于，包括：

衬底；

振膜层，所述振膜层位于所述衬底上方，与外部连通以接收声音信号；

背极板，所述背极板位于所述振膜层上，并且与所述振膜层彼此相对，以形成电容极板；

第二焊盘，位于所述背极板上；

互连部件，连接所述振膜层；以及

第一焊盘，位于所述互连部件上，所述互连部件使得所述第一焊盘与所述第二焊盘的高度差小于10微米，

其中，所述互连部件和所述背极板由第一导体层图案化形成且彼此隔开，所述互连部件悬挂所述振膜层并且包括弹性结构，根据所述振膜层的约束点设置所述互连部件与所述振膜层的连接位置。

2.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述互连部件的至少部分结构以面接触的方式与所述振膜层连接。

3.根据权利要求2所述的MEMS结构，其特征在于，所述互连部件包括：

第一部分，所述第一焊盘位于所述第一部分上；

第二部分，与所述振膜层以面接触的方式连接；

第三部分，连接所述第一部分和所述第二部分。

4.根据权利要求3所述的MEMS结构，其特征在于，所述第一部分与所述第三部分呈一定角度设置；

所述第二部分与所述第三部分呈一定角度设置。

5.根据权利要求3或4所述的MEMS结构，其特征在于，还包括：

位于所述振膜层和所述背极板之间的支撑层，

其中，所述互连部件的第一部分至少部分地在所述支撑层上横向延伸，使得所述振膜层悬挂在所述互连部件的第二部分下方。

6.根据权利要求5所述的MEMS结构，其特征在于，所述振膜层的周边部分夹在所述衬底和所述支撑层之间。

7.根据权利要求5所述的MEMS结构，其特征在于，所述背极板的周边具有与所述互连部件相对应的开口，所述互连部件在所述开口内接触所述支撑层。

8.根据权利要求3所述的MEMS结构，其特征在于，所述互连部件的第一部分的至少一部分包括所述弹性结构。

9.一种制造MEMS结构的方法，包括：

在衬底上形成振膜层；

在振膜层上形成支撑层；

在支撑层中形成第一开口；

在支撑层上形成第一导体层，第一导体层填充所述第一开口；

将第一导体层图案化形成互连部件和背极板；以及

在所述互连部件和所述背极板上分别形成第一焊盘和第二焊盘，

其中，所述互连部件和所述背极板彼此隔开，所述互连部件悬挂所述振膜层，并且所述互连部件包括在所述支撑层上横向延伸的第一部分、与所述振膜层以面接触方式连接的第二部分以及连接所述第一部分和所述第二部分的第三部分，所述互连部件的第一部分的至少一部分包括弹性结构。