[发明专利]用于抛光钴的浆液以及衬底抛光方法有效
| 申请号： | 201610157056.7 | 申请日： | 2016-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN106010296B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 朴珍亨 | 申请（专利权）人： | 优备材料有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道龙*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 抛光 浆液 以及 衬底 方法 | ||
【权利要求书】：
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