[发明专利]一种光栅外腔半导体激光器波长的调谐方法

权利要求书

1.一种光栅外腔半导体激光器波长的调谐方法，其特征在于其具体步骤如下：

1)半导体增益器件发出的光经过准直透镜准直后，入射到衍射光栅上，一级衍射光沿原 路返回半导体增益器件有源区，与有源区内光场相互作用，实现单纵模窄线宽输出，零级光 作为输出；

2)半导体增益器件或准直透镜固定于一位置可发生平移的驱动装置上，通过改变半导体 增益器件或准直透镜相对于衍射光栅的水平位置，使得入射到衍射光栅的光束角度发生变化， 实现光栅外腔半导体激光器波长的调谐。

2.如权利要求1所述一种光栅外腔半导体激光器波长的调谐方法，其特征在于所述光栅 外腔半导体激光器包括半导体增益器件、准直透镜或衍射光栅。

3.如权利要求1所述一种光栅外腔半导体激光器波长的调谐方法，其特征在于所述半导 体增益器件采用具有光增益的半导体发光器件。

4.如权利要求3所述一种光栅外腔半导体激光器波长的调谐方法，其特征在于所述具有 光增益的半导体发光器件选自边发射半导体激光二极管、超辐射发光二极管、光放大器中的 一种。

5.如权利要求1所述一种光栅外腔半导体激光器波长的调谐方法，其特征在于所述准直 透镜采用具有光学准直作用的光学镜片。

6.如权利要求5所述一种光栅外腔半导体激光器波长的调谐方法，其特征在于所述具有 光学准直作用的光学镜片选自非球面透镜、双胶合透镜、物镜镜头中的一种。

7.如权利要求1所述一种光栅外腔半导体激光器波长的调谐方法，其特征在于所述可发 生平移的驱动装置选自电动马达、步进电机、压电陶瓷驱动器、微机电系统中的至少一种。