[发明专利]一种基板传送装置及显示器生产设备有效
申请号: | 201610153784.0 | 申请日: | 2016-03-17 |
公开(公告)号: | CN105655276B | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 石鹏程;元敏;刘浏 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;G02F1/13 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 传送 装置 显示器 生产 设备 | ||
1.一种基板传送装置,该装置包括:多根传送杆、以及安装在每一所述传送杆上的多个滚轮,其特征在于,还包括:供气系统;其中,每一所述滚轮为可充气式滚轮;所述供气系统用于为与基板的非显示区域相对的滚轮充气,使得与基板的非显示区域相对的滚轮能够接触并传送所述基板。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述供气系统包括:主供气管道、支供气管道、阀门和阀门控制单元;
其中,所述支供气管道与所述滚轮一一对应,每一所述支供气管道上设置一所述阀门,每一所述支供气管道的一端与所述主供气管道相连通,另一端通过设置在该支供气管道上的阀门与一所述滚轮相连,所述阀门控制单元用于控制每一所述阀门的开启与关闭,当任一所述阀门开启时,所述主供气管道通过该阀门所在的支供气管道为该阀门所在的支供气管道连接的滚轮充气。
3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述阀门控制单元具体用于:
根据基板上的显示区域位置,及预先存储的每一所述滚轮相对于所述基板传送装置的位置坐标,控制与所述显示区域相对的滚轮对应的阀门关闭,以及与该基板的非显示区域相对的滚轮对应的阀门开启。
4.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,每一所述阀门通过电线与所述阀门控制单元电连接。
5.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述传送杆为中空管,所述供气系统的主供气管道、支供气管道、阀门安装在所述传送杆中,所述电线穿过所述传送杆的中空部分连接所述阀门和所述阀门控制单元。
6.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,每一所述传送杆包括一根中空内管和多根中空外管,其中,对于每一传送杆,该传送杆的中空内管贯穿该传送杆上的所有滚轮,相邻的两个滚轮之间设置一根所述中空外管,所述中空内管与贯穿在该中空内管上的滚轮固定连接,每一所述中空外管与所述中空内管通过垂直于所述中空外管的内壁和所述中空内管的外壁的至少一根连接杆固定连接,并且,每一所述中空外管的至少一端与一所述滚轮的外壁相接触。
7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,每一所述中空外管的一端与一所述滚轮的外壁相接触,另一端与另一所述滚轮的外壁相接触。
8.根据权利要求6或7所述的装置,其特征在于,每一所述传送杆的一端与该传送杆上的第一个滚轮之间还设置一根中空外管,另一端与该传送杆上的最后一个滚轮之间也设置一根中空外管。
9.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,每一所述传送杆上安装的滚轮的数量相同。
10.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,每一所述传送杆上安装的滚轮的相对位置相同。
11.一种显示器生产设备,其特征在于,包括权利要求1~10任一权项所述的装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造