[发明专利]一种单晶硅棒机械粘接设备

权利要求书

1.一种单晶硅棒机械粘接设备，其特征在于：包括第一平板（1）、第二平板（2）、电磁吸盘（3）、立柱（6）、回转台（7）、调整平台（8）、升降丝杠（10）、底座（14），工作台（9）；工作台（9）的上表面设有调整平台（8），调整平台（8）上面为回转台（7），回转台（7）上面为底座（14），四根立柱（6）和第一平板（1）固定连接，四根立柱（6）和第二平板（2）滑动配合，第二平板（2）的底面上设有电磁吸盘（3）；升降丝杠（10）能使第二平板（2）升降下压，升降丝杠（10）和动力传动机构连接。

2.根据权利要求１所述的一种单晶硅棒机械粘接设备，其特征在于还设有压力传感器、能沿立柱（6）升降的位移传感器（13）和控制器，所述动力传动机构为伺服电机传动机构。

3.根据权利要求１所述的一种单晶硅棒机械粘接设备，其特征在于所述回转台（7）为蜗杆蜗轮结构。

4.根据权利要求１所述的一种单晶硅棒机械粘接设备，其特征在于所述调整平台（8）为相互垂直的两组直线导轨滑块结构构成，导轨两侧标有刻度。

5.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒机械粘接设备，其特征在于回转台（7）、调整平台（8）均设有电机传动机构。

6.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒机械粘接设备，其特征在于回转台（7）、调整平台（8）均为手动机构，并设有位移显示器（15）。

7.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒机械粘接设备，其特征在于所述位移传感器（13）固定在连接板（11）上，连接板（11）由安装在立柱（6）上的直线轴承（12）固定于立柱（6）上。