[发明专利]机械地流体化的硅沉积系统和方法在审
| 申请号： | 201610149976.4 | 申请日： | 2013-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN105797656A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 马克·W·达瑟尔;大卫·A·布雷斯勒 | 申请（专利权）人： | 罗克斯达技术有限责任公司 |
| 主分类号： | B01J8/40 | 分类号： | B01J8/40;B01J8/30;C01B33/029;C23C16/442;C23C16/24 |
| 代理公司： | 北京鸿德海业知识产权代理事务所(普通合伙) 11412 | 代理人： | 袁媛 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 机械 流体 沉积 系统 方法 | ||
【说明书】：
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