[发明专利]一种基于石墨烯材料的可调性太赫兹波导器件在审
| 申请号： | 201610139334.6 | 申请日： | 2016-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN107144917A | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 肖丙刚;秦康 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G02B6/10 | 分类号： | G02B6/10;G02B5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石墨 材料 调性 赫兹 波导 器件 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于石墨烯材料的可调性太赫兹波导器件，其特征在于：由一层二氧化硅材料衬底层、一层石墨烯中间层、一层二氧化硅中间层和一层金属铜条带由下往上叠置而成的三层波导结构放置在二氧化硅的衬底上。
2.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯材料的可调性太赫兹波导器件，其特征在于：所述二氧化硅衬底层，厚度为20μm。
3.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯材料的可调性太赫兹波导器件，其特征在于：所述石墨烯层其理论的厚度仅仅为0.34nm。
4.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯材料的可调性太赫兹波导器件，其特征在于：所述中间层为二氧化硅材料，厚度为50nm～500nm。
5.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯材料的可调性太赫兹波导器件，其特征在于：所述条带顶层为金属铜材料，厚度为1μm，宽度为0.5μm～4μm。
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