[发明专利]氧化锆掺杂氟化锂坩埚及其采用热压烧结制坩埚的方法

权利要求书

1.一种氧化锆掺杂氟化锂坩埚，其特征在于：所述氧化锆掺杂氟化锂坩埚的成分为每100g的氧化锆中掺杂有0.5～10g的氟化锂。

2.根据权利要求1所述的氧化锆掺杂氟化锂坩埚，其特征在于：氧化锆掺杂氟化锂坩埚使用温度不大于1800℃。

3.一种采用热压烧结工艺制备权利要求1中所述的氧化锆掺杂氟化锂坩埚的方法，其特征在于有下列步骤：

第一步：制浆料

将按目标成分配置的粒径0.01～20μm的氧化锆、粒径0.01～20μm的氟化锂与无水乙醇混合均匀后制得浆料；

其中氟化锂的用量为每100g的氧化锆中掺杂有0.5～10g的氟化锂，无水乙醇的用量为每100g的氧化锆中加入0.05～0.1L；

第二步：烘干制坯料

将第一步骤中制得的浆料在干燥箱中烘干制得坯料，干燥温度60～100℃，干燥时间8～15h；

第三步：热压烧结制坩埚

将第二步制得的坯料放入热压设备的模腔中，盖上压坯；

调节压力至10～20MPa，升温速率5～10℃/min，烧结温度1400～1600℃，并在温度1400～1600℃条件下保温5～10h，最后脱模制得氧化锆掺杂氟化锂坩埚。

4.根据权利要求3所述的采用热压烧结制氧化锆掺杂氟化锂坩埚的方法，其特征在于：在第一步中使用的氧化锆粉材是多级粒径的级配粉，即第一级氧化锆粉材粒径为0.01～0.5μm、第二级氧化锆粉材粒径为0.5～2μm、第三级氧化锆粉材粒径为2～6μm、第四级氧化锆粉材粒径为6～20μm。