[发明专利]显影液过滤装置

说明书

技术领域

本发明涉及过滤技术领域，特别是涉及一种显影液过滤装置。

背景技术

目前，黄光制程工艺被广泛地应用于半导体光刻工序和显示器面板光刻工序中，而在黄光制程工艺中，显影工序是一个重要的环节，显影工序需要使用并消耗显影液。

为了尽可能地减少显影液的损耗以及提高显影液的利用率，采用显影液回收系统，可以有效地提高显影液的利用率，不仅可以防止显影液的过度浪费，而且还减少了对环境的污染。

在显影液回收系统中，其最关键的部件之一就是显影液过滤装置，并且显影液过滤装置的过滤效果和过滤效率直接影响着显影液的使用率。

目前，显影液过滤装置的内芯部分通常包括管壁带有孔洞的金属管以及包裹在其上的过滤膜，这样可以使经过过滤后的显影液通过金属管流出再次加以利用。然而，此种过滤装置依然存在过滤效率较差的问题。

发明内容

基于此，有必要提供一种过滤效率较好的显影液过滤装置。

一种显影液过滤装置，包括：

外壳，

过滤管，所述过滤管容置于所述外壳内部，并且所述过滤管与所述外壳之间设置有间隔，所述过滤管开设有若干透过孔，所述过滤管的外侧壁设置有若干凸起；

过滤膜，所述过滤膜套置于所述过滤管的外部，并与所述凸起的端部抵持。

在其中一个实施例中，所述过滤管具有圆环形结构的横截面。

在其中一个实施例中，若干所述凸起以所述过滤管的中心呈放射状分布。

在其中一个实施例中，若干所述透过孔以所述过滤管的中心呈放射状分布。

在其中一个实施例中，在所述过滤管的展开平面结构中：若干所述凸起依次间隔并呈矩形阵列排布，若干所述透过孔依次间隔并呈矩形阵列排布，每一所述透过孔位于相邻的两个所述凸起之间。

在其中一个实施例中，所述凸起为半球形结构。

在其中一个实施例中，所述凸起直径小于所述透过孔的直径。

在其中一个实施例中，所述过滤膜为纳米级高分子材料过滤膜。

在其中一个实施例中，还包括离心模组，所述离心模组设置于所述过滤管内部。

在其中一个实施例中，所述外壳具有圆环形结构的横截面。

上述显影液过滤装置的过滤管通过在外侧壁设置有若干凸起，并且利用凸起对过滤膜的支撑定型作用，从而可以在过滤膜与过滤管外侧壁之间形成显影液流动空间，进而加快了显影液的流动速率，即增加了待过滤显影液与过滤膜的接触面积，从而可以使得在单位时间内，更多的待过滤显影液渗透通过过滤膜，用于完成过滤操作，这样，可以增加显影液的过滤速度，从而增加了显影液的过滤效率。

附图说明

图1为本发明一实施方式的显影液过滤装置的结构示意图；

图2为本发明一实施方式的显影液过滤装置的内部结构示意图；

图3为本发明一实施方式的过滤管的结构示意图；

图4为本发明一实施方式的显影液过滤装置的内部结构示意图；

图5为本发明另一实施方式的过滤管的结构示意图；

图6为本发明另一实施方式的过滤管的结构示意图；

图7为本发明另一实施方式的过滤管的结构示意图；

图8为本发明另一实施方式的过滤管的局部展开平面结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。

例如，一种显影液过滤装置，包括：外壳，过滤管，所述过滤管容置于所述外壳内部，并且所述过滤管与所述外壳之间设置有间隔，所述过滤管开设有若干透过孔，所述过滤管的外侧壁设置有若干凸起；过滤膜，所述过滤膜套置于所述过滤管的外部，并与所述凸起的端部抵持。

例如，请一并参阅图1及图2，显影液过滤装置10包括：外壳100、过滤管200及过滤膜300，过滤管200容置于外壳100内，过滤膜300套置于过滤管200外部。