[发明专利]白光干涉垂直扫描法非线性开环扫描的方法

权利要求书

1.一种白光干涉垂直扫描非线性开环扫描的方法，其特征在于：

提供适用于光学干涉的干涉轮廓仪，来提供光学扫描干涉系统的光程差及使用非线性开环扫描控制系统驱动装置的方法和技术来实现干涉；

白光垂直扫描干涉轮廓仪进行表面高度差测量通过下面的步骤来实现：

(1)、通过光程差驱动装置，获取在不同的光程差时对应的有序干涉图谱篇幅总数N，

I(t_n)＝a(t_n)+b(t_n)cos(φ(t_n))，可简化为I_n＝a_n+b_n cos(φ_n),其中n＝1,2,…,N

同时同步记录集成到光程差驱动装置的输出信号，包括压电陶瓷的位置传感器信号值、直线微移动机械平台的定位光栅尺、编码器的输出信号或者通过光程差驱动装置非线性微移动特征曲线同步获取对应的位移值，M次作为对应扫描高度或时间

P(t_m)＝P_m for m＝1,2,…,M；

(2)、将P_m数据拟合成一条平滑的曲线P(t)；

(3)、由下面的一系列干涉图谱强度来计算干涉图谱的调制振幅b_n，

其中n＝3,4,…,N-2；

(4)、从调制振幅b_n随垂直扫描时间分布的数据中求取其最大值以及对应的垂直扫描时间或位置t_a；请注意对应的垂直扫描时间或位置t_a能够直接由上面的系列干涉图谱强度来计算，不需要计算相应的调制振幅b_n值；

(5)、由上述的步骤(2)中的曲线P(t)来找到对应的P(t_a)；

(6)、将位置传感器、定位光栅尺、编码器的输出信号或者光程差驱动装置非线性微移动特征曲线的相对应位移值P(t_a)关联到被测表面高度。

2.如权利要求1所述的白光干涉垂直扫描非线性开环扫描的方法，其特征在于：适用Mirau干涉仪，Michelson干涉仪，Linik干涉仪。