[发明专利]基板处理装置及基板处理方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，其对具有可挠性的长带状的片状基板进行处理，其特征在于，具备：

第一处理装置，对被搬送于长边方向的所述片状基板实施第一处理；

第二处理装置，在与该第一处理装置中的所述片状基板的搬送方向交叉的方向错开配置，对所述片状基板实施第二处理；

第三处理装置，具备设置成使所述片状基板的二行分别通过的插入部与排出部，且对所述第一处理后的片状基板、或者对所述第二处理后的片状基板实施第三处理；以及

搬送装置，具备以所述片状基板通过所述第一处理装置朝向所述第三处理装置的方式将所述片状基板搬送于所述长边方向的第一搬送部、以所述片状基板通过所述第三处理装置后朝向所述第二处理装置的方式将所述片状基板搬送于所述长边方向的第二搬送部、及以所述片状基板通过所述第二处理装置后朝向所述第三处理装置的方式将所述片状基板搬送于所述长边方向的第三搬送部。

2.如权利要求1所述的基板处理装置，其中，所述第一处理装置与所述第二处理装置，在与所述片状基板的搬送方向交叉的上下方向错开配置。

3.如权利要求2所述的基板处理装置，其中，所述第三处理装置的插入部与排出部，具有用于搬入所述第一处理后的片状基板的第一插入口与用于排出所述片状基板的第一排出口、以及用于搬入所述第二处理后的片状基板的第二插入口与用于排出所述片状基板的第二排出口；

所述第一插入口与所述第二插入口于上下方向配置，所述第一排出口与所述第二排出口于上下方向配置。

4.如权利要求1至3任一项所述的基板处理装置，其中，所述第一处理装置具备能使所述片状基板的被处理面呈圆筒面状地支承并且同时移动于所述长边方向的第一圆筒构件、及配置于该第一圆筒构件的周围且进行所述第一处理的第一处理部；

所述第二处理装置具备能使所述片状基板的被处理面呈圆筒面状地支承并且同时移动于所述长边方向的第二圆筒构件、及配置于该第二圆筒构件的周围且进行所述第二处理的第二处理部。

5.如权利要求4所述的基板处理装置，其中，所述第一圆筒构件与所述第二圆筒构件于上下方向排列配置，并且以可绕中心轴旋转的旋转桶构成。

6.如权利要求2所述的基板处理装置，其中，在通过所述第一搬送部、所述第二搬送部、所述第三搬送部的各个形成的所述片状基板的长边方向的搬送路径，设置用于变换所述片状基板的搬送方向的多个导引滚筒；

该多个导引滚筒中的至少二个导引滚筒，根据所述第一处理装置与所述第二处理装置的上下方向的配置的错开，以所述片状基板的搬送路径于上下方向偏移的方式配置。

7.如权利要求1至3、6任一项所述的基板处理装置，其中，所述第三处理装置所进行的所述第三处理，是使所述片状基板干燥的处理、或将其加热至既定温度的处理。

8.一种基板处理方法，其一边使具有可挠性的长带状的片状基板搬送于长边方向，一边对所述片状基板实施多个处理，其特征在于，包含：

第一步骤，将所述片状基板送往第一处理装置，对所述片状基板的被处理面实施第一处理；

第二步骤，将所述片状基板送往第二处理装置，对经所述第一处理后的所述片状基板的被处理面实施第二处理；

第三步骤，将经所述第一处理后的所述片状基板、及经所述第二处理后的所述片状基板送往具备设置成使所述片状基板的二行分别通过的插入部与排出部的第三处理装置，对所述片状基板的被处理面实施第三处理；以及

搬送步骤，通过以所述第一处理装置、所述第三处理装置、所述第二处理装置、及所述第三处理装置的顺序将所述片状基板搬送于所述长边方向的搬送装置，搬送所述片状基板。

9.如权利要求8所述的基板处理方法，其中，所述第三处理装置所进行的所述第三处理，是使所述片状基板干燥的处理、或将其加热至既定温度的处理。