[发明专利]一种用于微流体系统中的对准键合结构的制作方法

权利要求书

1.一种用于微流体系统中的对准键合结构的制作方法，其特征在于，所述方法包括:

利用硬质透光材料对聚合物进行固定；

将所述硬质透光材料与基底材料进行对准和键合，进而实现所述聚合物与所述基底材料的对准键合；

在所述将所述硬质透光材料与基底材料进行对准和键合之前，所述方法还包括：对所述聚合物进行键合前处理；键合前处理具体是：对聚合物或基底材料，或者聚合物和基底材料，采取的促使键合成效的处理；键合前处理根据具体的键合方法得不同而不同；

所述基底材料包括金属或聚合物材料；所述基底材料含有微结构；

所述聚合物的一面具有微结构；聚合物所含微结构具有任意性；

所述利用硬质透光材料对聚合物进行固定，具体包括：将所述聚合物中没有微结构的一面固定在所述硬质透光材料上；

所述硬质透光材料为具有光学透光性的基片，可透过任一波长范围的光；

所述硬质透光材料包括：石英，或蓝宝石，或硅片，或氮化镓。

2.根据权利要求1所述的一种用于微流体系统中的对准键合结构的制作方法，其特征在于，所述聚合物包括聚二甲基硅氧烷PDMS，或聚甲基丙烯酸甲酯PMMA，或聚苯乙烯PS。