[发明专利]一种基于喷墨打印技术的有机发光显示装置及其制造方法有效
| 申请号: | 201610121824.3 | 申请日: | 2016-03-03 |
| 公开(公告)号: | CN105590957B | 公开(公告)日: | 2019-07-12 |
| 发明(设计)人: | 石龙强 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;B41J2/01 |
| 代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 何青瓦 |
| 地址: | 518006 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 基于 喷墨 打印 技术 有机 发光 显示装置 及其 制造 方法 | ||
本发明公开了一种基于喷墨打印技术的有机发光显示装置及其制造方法。其中,所述装置包括:基板以及在基板上依次叠层设置的金属层、阳极层、坝(bank)层、有机发光层、阴极层;其中,在所述金属层覆盖所述基板的区域开设有三个开口区域,暴露对应所述三个开口区域的基板;在所述坝层覆盖所述阳极层的区域开设第四开口区域,暴露对应所述第四开口区域的所述阳极层,所述有机发光层设置于所述第四开口区域内,其中,所述坝层平行于所述基板的表面还设置有疏水性材料层。通过上述方式,本发明能够使得OLED材料分布均匀,使得OLED装置发出均匀的光。
技术领域
本发明涉及显示领域,特别是涉及一种基于喷墨打印技术的有机发光显示装置及其制造方法。
背景技术
随着喷墨打印技术的迅速发展,越来越多的厂家利用喷墨打印技术制造有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)以及有机发光显示装置。
其中,现有技术中基于喷墨打印技术的OLED器件的简易剖面结构如图1所示,包括基板110、以及在基板110上依次形成的金属电极120、氧化铟锡ITO阳极130、坝(bank)层140、有机发光层150、阴极160。
喷墨打印的关键步骤之一是将bank层140处理成为表面疏水性,关键步骤之二是把OLED墨水喷到bank层140所形成的槽内。由于大多数的OLED墨水为亲水性,这样OLED墨水喷到bank材料上时,因亲水性和疏水性的接触力不好,OLED墨水会滚落到bank层140所形成的槽内。然而由于墨水和槽的接触角会直接影响墨水在槽内的均匀性,在进行OELD墨水喷涂,OLED墨水和槽的接触角控制不当(例如接触角>90°)时,会导致ITO基底和有机发光(OLED)材料接触差,槽和OLED材料间存在间隙,OLED材料分布为中间厚两边薄的特点,均匀性差,不利于发出均匀的光来。
发明内容
本发明提供一种基于喷墨打印技术的有机发光显示装置及其制造方法,能够使得OLED材料分布均匀,使得OLED装置发出均匀的光。
为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是:提供一种基于喷墨打印技术的有机发光(OLED)显示装置,所述装置包括基板以及在基板上依次叠层设置的金属层、阳极层、坝(bank)层、有机发光层、阴极层;其中,在所述金属层覆盖所述基板的区域开设有三个开口区域,暴露对应所述三个开口区域的基板;在所述坝层覆盖所述阳极层的区域开设第四开口区域,暴露对应所述第四开口区域的所述阳极层,所述有机发光层设置于所述第四开口区域内,所述坝层平行于所述基板的表面还设置有疏水性材料层,所述坝层开设的所述第四开口区域未覆盖疏水性材料层。其中,所述疏水性材料层包括氟离子或氯离子。
其中,所述坝层为负性光阻。
其中,所述第四开口区域形成的形状为倒置梯形。
其中,所述第四开口区域形成的形状为倒置梯形。
为解决上述技术问题,本发明采用的另一个技术方案是:提供一种基于喷墨打印技术的有机发光(OLED)显示装置的制造方法,所述方法包括在基板上依次形成金属层、阳极层以及坝(bank)层;其中,在所述金属层覆盖所述基板的区域开设有三个开口区域,暴露对应所述三个开口区域的基板;在所述坝层覆盖所述阳极层的区域开设第四开口区域,暴露对应所述第四开口区域的所述阳极层;在暴露的所述阳极层、所述坝层的表面形成光致抗蚀剂层;其中,所述光致抗蚀剂层的光阻属性与所述坝层的光阻属性不同;对所述光致抗蚀剂层进行曝光处理,暴露所述坝层平行于所述基板的表面;在暴露的所述坝层表面形成疏水材料层,所述坝层开设的所述第四开口区域未覆盖疏水性材料层;进行曝光显影处理去除所述光致抗蚀剂层,利用喷墨打印技术在所述第四开口区域形成有机发光层,并在所述有机发光层上形成阴极层。其中,所述疏水材料层包括氟离子或氯离子。
其中,在暴露的所述坝层表面形成疏水材料层的步骤具体为:对暴露的所述坝层表面进行干法蚀刻处理,在暴露的所述坝层表面形成疏水材料层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





