[发明专利]精密测长机的遮蔽装置有效
申请号: | 201610121207.3 | 申请日: | 2016-03-03 |
公开(公告)号: | CN105549239B | 公开(公告)日: | 2019-07-16 |
发明(设计)人: | 杨二;马海买提;陈中明 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 精密 长机 遮蔽 装置 | ||
1.一种精密测长机的遮蔽装置,用于隔绝腔体内外温度交换,其特征在于,所述遮蔽装置包括:
遮蔽门,设置于腔体上,用于进行所述腔体的开/关动作;
至少二热风喷头,设置于腔体之壁面并位于所述遮蔽门的左右两侧,用于当所述遮蔽门打开时喷出干洁气体以防止所述腔体与腔体外界温度交换;
CDA气源;
管路,连接所述CDA气源与所述至少二热风喷头;以及
预加热装置,透过所述预加热装置的预加热以形成温度保持在一特定温度的所述CDA气源。
2.根据权利要求1所述的精密测长机的遮蔽装置,其特征在于,所述遮蔽门是平行所述腔体的壁面往下打开。
3.根据权利要求1所述的精密测长机的遮蔽装置,其特征在于,所述干洁气体形成温度均匀的水平的热风气流。
4.根据权利要求1所述的精密测长机的遮蔽装置,其特征在于,所述至少二热风喷头包括在所述遮蔽门左侧的三个垂直排列的热风喷头,并包括在所述遮蔽门右侧的三个垂直排列的热风喷头。
5.根据权利要求4所述的精密测长机的遮蔽装置,其特征在于,所述左侧的三个热风喷头水平对应所述右侧的三个热风喷头。
6.根据权利要求4所述的精密测长机的遮蔽装置,其特征在于,所述左侧的三个热风喷头垂直的交错所述右侧的三个热风喷头。
7.根据权利要求1所述的精密测长机的遮蔽装置,其特征在于,所述管路上设有温度传感器,以维持喷出CDA的温度。
8.根据权利要求1所述的精密测长机的遮蔽装置,其特征在于,所述特定温度为 23℃。
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