[发明专利]一种表面波等离子体装置

权利要求书

1.一种表面波等离子体装置，包括：用于产生微波的微波发生装置、微波传输匹配结构和真空腔室，所述微波传输匹配结构包括矩形波导，用于传输所述微波发生装置产生的微波，其特征在于，所述装置还包括：连接腔、谐振腔和螺钉探针，所述连接腔连通所述矩形波导和所述谐振腔的顶部，所述螺钉探针依次贯穿所述矩形波导和连接腔，并伸入所述谐振腔的内部；

所述谐振腔的底壁设置有多个石英窗口，且与所述真空腔室相连并密封。

2.如权利要求1所述的表面波等离子体装置，其特征在于，所述石英窗口沿所述真空腔室的周向均匀分布。

3.如权利要求1所述的表面波等离子体装置，其特征在于，所述石英窗口由至少两个同轴设置且直径不同的圆柱形石英件组成，且所述石英件的直径沿所述石英窗口由上至下递减。

4.如权利要求3所述的表面波等离子体装置，其特征在于，所述石英件的最小直径为40mm-120mm。

5.如权利要求4所述的表面波等离子体装置，其特征在于，所述石英件的最小直径为60mm。

6.如权利要求3所述的表面波等离子体装置，其特征在于，所述谐振腔的底壁上设有通孔，所述通孔的位置与所述石英窗口一一对应，所述通孔的形状与所述石英窗口匹配，所述石英窗口设置在所述通孔中，并与所述通孔之间固定连接。

7.如权利要求6所述的表面波等离子体装置，其特征在于， 所述石英窗口和所述通孔借助O圈密封。

8.如权利要求1所述的表面波等离子体装置，其特征在于，所述装置还包括至少一个金属探针，所述金属探针设置于谐振腔的顶壁上，用于改变谐振腔内的电场分布，增强所述金属探针周围的电场。

9.如权利要求8所述的表面波等离子体装置，其特征在于，所述金属探针的位置与所述石英窗口相对应，且所述金属探针竖直方向的投影与对应的石英窗口同轴。

10.如权利要求8所述的表面波等离子体装置，其特征在于，所述金属探针在石英窗口的上表面投影的边缘与石英窗口的上表面的边缘之间的距离大于或等于2cm。

11.如权利要求1所述的表面波等离子体装置，其特征在于，所述装置还包括短路活塞，所述短路活塞设置在所述矩形波导的终端，通过调节所述短路活塞在所述矩形波导上的位置，能够调节所述矩形波导有效通路的长度。

12.如权利要求1-11任一项所述的表面波等离子体装置，其特征在于，所述谐振腔的高度为10mm-85mm。