[发明专利]一种蓝宝石图形衬底掩膜版的图形结构和曝光方法

权利要求书

1.一种蓝宝石图形衬底掩膜版的图形结构，包括透光区和若干处不透光区，其特征在于，所述图形结构由若干个相同的多边形拼接而成，所述多边形具有至少2个扇形不透光区域及一个透光区域，拼接方式为将多个所述多边形的所述扇形不透光区域拼接，形成圆形不透光区，所述多边形为轴对称图形，所述多边形的所有扇形不透光区域对应圆弧的半径相等，且所述多边形上所有圆弧所对应的圆心角之和为180°，靠近侧边的圆形不透光区域与侧边之间的透光区域不足以拼凑成一个完整的多边形，所述掩膜版的边界上未形成完整的多边形的区域皆为不透光区。

2.如权利要求1所述的蓝宝石图形衬底掩膜版的图形结构，其特征在于，所述多边形为五边形，所述五边形的两个相邻的内角为直角，每个直角的直角边作为所述扇形不透光区域的边，所述扇形不透光区域的圆弧对应的圆心角为所述直角，两个直角具有两个相对的直角边，两个所述相对的直角边边长相等且等于所述扇形不透光区域的半径。

3.如权利要求1所述的蓝宝石图形衬底掩膜版的图形结构，其特征在于，所述多边形为等边三角形，所述等边三角形的三个内角处形成圆心角为60°的所述扇形不透光区域。

4.如权利要求1所述的蓝宝石图形衬底掩膜版的图形结构，其特征在于，所述圆形不透光区的直径范围为2μm～2.3μm。

5.如权利要求1所述的蓝宝石图形衬底掩膜版的图形结构，其特征在于，所述圆形不透光区的圆周由所述扇形不透光区域的圆弧拼接而成，所述掩膜版任意一个侧边上的圆弧与相对侧边上的圆弧拼接形成完整的圆。

6.如权利要求5所述的蓝宝石图形衬底掩膜版的图形结构，其特征在于，把两个相同的所述掩膜版边界交叠后，在两个所述掩膜版相邻的侧边上，一个掩膜版上圆弧与另一个掩膜版上的圆弧拼接形成完整的圆。

7.一种使用具有权利要求1～6中任意一项所述的蓝宝石图形衬底掩膜版的图形结构的掩膜版的曝光方法，其特征在于，在曝光完所述掩膜版后形成的图案区域上，将所述掩膜版的边界与图案区域边界交叠，使得掩膜版侧边的圆弧与图案区域侧边的圆弧拼接形成完整的圆后，曝光所述掩膜版上的图形。