[发明专利]一种多阶梯轴行位公差在位检测装置及其检测方法

权利要求书

1.一种多阶梯轴行位公差在位检测装置及其检测方法；该测量装置包括微调自动进给 装置，防撞自动缩回装置，传感器位移角度微调装置，传感器安装固定弧形支架；微调自动 进给装置与防撞自动缩回装置连接在一起，通过固定螺栓固定在机床运动溜板上，传感器 安装固定弧形支架安装在微调自动进给装置滚珠丝杠运动导轨副上；该装置通过截面三激 光位移传感器测量矩阵分离算法可以分离出阶梯轴截面圆度误差和机床主轴回转误差；三 涡流传感器直线度测量分离算法可以分离出阶梯轴母线直线度误差、溜板导轨运动误差， 溜板的角度偏摆误差。该测量装置随溜板移动可以实现多阶梯轴圆度、同轴度、圆柱度、直 线度、端面跳动度、径向跳动度等行位公差的测量。

2.如权利要求1所述一种多阶梯轴行位公差在位检测装置，其特征是，微调进给装置包 括直线电机、支撑立柱、伺服电机、减速器、滚珠丝杠、光栅尺、滚珠丝杠导轨运动副；支撑立 柱固定安放在直线电机移动板上，支撑立柱上安装有伺服电机通过减速器与滚珠丝杠连 接，滚珠丝杠导轨运动副安在滚珠丝杠上。

3.如权利要求1所述一种多阶梯轴行位公差在位检测装置，其特征是，防撞自动缩回装 置包括竖直立柱、伸缩缸。

4.如权利要求1所述一种多阶梯轴行位公差在位检测装置，其特征是，传感器位移角度 微调装置可以微调测量传感器测量角度和位移。

5.如权利要求1所述IL-065激光位移传感器，基准距离65mm,测量距离55到105mm，线性 度为F.S.±0.1％*2.重复精度2um*3。

6.如权利要求1所述XZY3300涡流传感器，探头直径线性量程4mm,线性范围1.0- 5.0mm,线性中点3.0mm，非线性误差±1％。

7.如权利要求1所述一种多阶梯轴行位公差在位检测装置及检测方法，三激光位移传 感器测量矩阵分离算法可以分离出阶梯轴截面圆度误差和机床主轴回转误差；三涡流传感 器直线度测量分离算法可以分离出阶梯轴母线直线度误差、溜板导轨运动误差，溜板的角 度偏摆误差。

8.如权利要求1所述一种多阶梯轴行位公差在位检测装置，其特征是，激光位移传感夹 持件两相邻侧边都由保护装置。