[发明专利]液晶面板

说明书

本发明申请是申请日为2011年11月29日、申请号为 201110397236.X、发明名称为“液晶面板、液晶显示装置及其制造方 法”的发明申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种液晶面板，尤其是涉及一种抑制在液晶面板的制 造过程中的曝光次数的技术。

背景技术

在横向电场方式的液晶面板中，在形成有薄膜晶体管的一方的基 板上形成有像素电极和公共电极(对置电极)这两者。如国际公开第 WO01/018597号所公开的那样，在这种液晶面板中，存在如下类型： 在除去取向膜以外的最上层形成有公共电极，在比公共电极靠下的层 形成有像素电极、信号线等其它的导体层。根据该类型，能够由公共 电极屏蔽由于施加到影像信号线(漏极布线)的电压产生的电场。其 结果，能够得到如下优点：能够使掩盖电场影响的黑矩阵变小，能够 提高像素的开口率等。

液晶面板的基板一般通过光刻法进行制造。在光刻法中，在绝缘 膜或导体膜上通过曝光工序而对抗蚀膜进行图案形成，将该抗蚀膜作 为掩模对绝缘膜等进行蚀刻。

发明内容

可是，曝光工序由于光掩模价格较高等，而需要昂贵的成本。因 此，期望在液晶面板的制造过程中减少曝光次数。

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，在一方的基板上 形成像素电极和公共电极且在比公共电极低的层上形成有像素电极、 信号线等的液晶面板、液晶显示装置及其制造方法中，减少制造所需 的曝光的次数。

用于解决上述问题的本发明所涉及的液晶面板，其具有夹持液晶 的两个基板。在一方的基板上形成有薄膜晶体管、由透明导电材料形 成的像素电极以及由透明导电材料形成的公共电极。上述像素电极、 上述薄膜晶体管、以及与上述薄膜晶体管相连接的布线位于比上述公 共电极低的层。并且，与上述薄膜晶体管相连接的栅极布线具有包含 下布线和上布线的两层结构，该下布线由与上述像素电极相同的材料 形成，并且位于与上述像素电极相同的层，该上布线层叠在该下布线 上，由导电率高于上述透明导电材料的材料形成。

另外，为了解决上述问题，本发明所涉及的液晶显示装置具备上 述液晶面板。

根据本发明，在形成栅极布线和像素电极的工序中，能够利用多 灰阶掩模对抗蚀膜进行曝光。其结果，能够通过一次曝光工序形成栅 极布线和像素电极这双方，从而能够减少曝光工序的次数。

另外，在本发明的一个方式中，也可以构成为上述薄膜晶体管包 含形成在覆盖上述栅极布线和上述像素电极的第一绝缘膜的上侧的 电极，上述公共电极形成在被形成于上述第一绝缘膜上的第二绝缘膜 上。并且，也可以在与上述公共电极相同的层上形成连结导体，该连 结导体由与该公共电极相同的材料形成，并且通过接触孔与上述薄膜 晶体管的上述电极和上述像素电极相连接。根据该方式，无需增加曝 光工序的次数，就能够形成连结导体。在该方式中，也可以构成为上 述薄膜晶体管的上述电极的一部分位于上述像素电极的上方，上述电 极的上述一部分和上述像素电极的一部分位于上述接触孔的内侧，上 述连结导体在上述接触孔中与上述电极的上述一部分和上述像素电 极的上述一部分相连接。通过这样能够使连结导体变小，因此能够提 高像素的开口率。

另外，在本发明的一个方式中，也可以在比上述公共电极低的层 上形成通过接触孔与该公共电极相连接的辅助公共布线。并且，上述 辅助公共布线也可以具有包含下辅助布线和上辅助布线的两层结构， 该下辅助布线位于与上述像素电极和上述下布线相同的层，并且由与 上述像素电极相同的材料形成，该上辅助布线由与上述上布线相同的 材料形成，层叠在上述下辅助布线上。根据该方式，通过辅助公共布 线能够降低公共电极的电阻。另外，无需增加曝光工序的次数，就能 够形成辅助公共布线。

另外，在本发明的一个方式中，也可以在上述公共电极上形成由 具有高于该公共电极的材料的导电率的材料形成的辅助公共布线。根 据该方式，通过辅助公共布线能够降低公共电极的电阻。另外，无需 增加曝光工序的次数，就能够形成辅助公共布线。

另外，在本发明的一个方式中，也可以在比上述公共电极低的层 上形成与上述薄膜晶体管相连接且被施加影像信号的漏极布线。并 且，也可以在与上述漏极布线相同的层上形成由具有高于上述公共电 极的导电率的材料形成且通过接触孔与上述公共电极相连接的辅助 公共布线。根据该方式，能够降低公共电极的电阻。