[发明专利]一种云母耐高温电热膜及其制备方法

权利要求书

1.一种云母耐高温电热膜的制备方法，云母耐高温电热膜包括金属电极以及自下而上依次层叠的第一云母层、第一导热膜、金属发热层、第二导热膜、第二云母层； 所述第一导热膜均匀涂覆于所述第一云母层上表面； 所述金属发热层设置于所述第一导热膜上表面；所述金属发热层均匀分布有若干导电合金条； 所述金属电极与金属发热层电连接； 所述第二导热膜均匀涂覆于所述金属发热层上表面； 所述第二云母层设置于所述第二导热层上表面； 所述第一、第二导热膜主要成分为碳化硅，其中碳化硅的质量分数≥50%；

其特征在于，包括如下步骤：

1）选取两块大小一致的云母板，作为第一云母板和第二云母板；2）选择Si单晶作为衬底材料，选择碳化硅为靶材，将Si单晶衬底材料送入磁控溅射仪，加温，生长碳化硅薄膜，然后退火，完成第一、第二导热膜的制备；

3）将导电合金膜与第一导热膜通过高温胶粘剂和高温压合工艺压制复合；

4）采用凹版印刷技术在导电合金膜上印制耐腐蚀油墨线路图；

5）使用酸性溶液或碱性溶液腐蚀导电合金膜，在金属发热层留下若干导电合金条；

6）采用导电粘结剂，利用干式复合法将金属载流条复合在导电合金条上，完成金属发热层的制备；

7）将金属电极与金属载流条焊接；

8）在金属发热层上表面涂覆高温胶粘剂，放上第二导热膜，通过高温压合工艺压制复合；

9）在第一导热膜的下表面和第二导热膜的上表面涂覆高温胶粘剂，分别放上第一云母片和第二云母片，通过高温压合工艺压制复合，即制得云母耐高温电热膜。

2.根据权利要求1所述的一种云母耐高温电热膜的制备方法，其特征在于，所述导电合金条为不锈钢、铝、黄铜、铜镍合金、铜。

3.根据权利要求1所述的一种云母耐高温电热膜的制备方法，其特征在于，所述第一、第二导热膜厚度均为0.08~0.2mm。

4.根据权利要求1所述的一种云母耐高温电热膜的制备方法，其特征在于，所述第一云母层、第一导热膜、金属发热层、第二导热膜、第二云母层之间通过高温粘合剂粘接。

5.根据权利要求1所述的一种云母耐高温电热膜的制备方法，其特征在于，所述金属发热层厚度为0.02~0.03mm。

6.根据权利要求1所述的一种云母耐高温电热膜的制备方法，其特征在于，所述金属发热层两侧均设有金属载流条，所述导电合金条通过金属载流条连接，并且导电合金条之间加以并联。