[发明专利]一种监控透射电子显微镜的预警系统

权利要求书

1.一种监控透射电子显微镜的预警系统，其特征在于，包括：监控计算机以及向监控计算机发送检测数据的压力传感器组、电流传感器组、光栅编码器、步进电机编码器，所述压力传感器组包括：检测电子枪真空压强的第一压力传感器、检测镜筒真空压强的第二压力传感器、检测投影室真空压强的第三压力传感器，所述电流传感器组包括：检测电镜高压系统暗电流的第一电流传感器、检测灯丝系统发射电流的第二电流传感器，光栅编码器测量样品台在X轴和Y轴上的移动距离，步进电机编码器测量样品台在Z轴上的移动距离，所述监控计算机在电子枪真空压强、镜筒真空压强、投影室真空压强、电镜高压系统暗电流、灯丝系统发射电流、样品台在X轴上的移动距离，样品台在Y轴上的移动距离、样品台在Z轴上的移动距离中至少一项数据超出该数据自身阈值范围时向电镜计算机发送超出阈值范围的数据并向报警器发送启动指令，报警器发出声光报警。

2.根据权利要求1所述一种监控透射电子显微镜的预警系统，其特征在于，所述预警系统还包括向监控计算机发送地面湿度数据的漏水传感器、向监控计算机发送冷却水温度的水温传感器，压力传感器组还包括检测空压机压强的第四压力传感器，监控计算机在地面湿度、冷却水温度、空压机压强中至少一项数据超出该数据自身阈值范围时向电镜计算机发送超出阈值范围的数据并向报警器发送启动指令，报警器发出声光报警。

3.根据权利要求1所述一种监控透射电子显微镜的预警系统，其特征在于，所述电子枪真空压强的阈值范围为小于1.33×10^-6Pa，镜筒真空压强的阈值范围为小于2.7×10^-5Pa，投影室真空压强的阈值范围为小于1×10^-4Pa。

4.根据权利要求3所述一种监控透射电子显微镜的预警系统，其特征在于，所述电镜高压系统暗电流的阈值范围为小于20μA，灯丝系统发射电流的阈值范围为小于200μA。

5.根据权利要求4所述一种监控透射电子显微镜的预警系统，其特征在于，所述样品台在X轴上移动距离的阈值范围为：-2000nm≤X≤+2000nm，样品台在Y轴上移动距离的阈值范围为：-2000nm≤X≤+2000nm，样品台在Z轴上移动距离的阈值范围：-375nm≤X≤+375nm。

6.根据权利要求2所述一种监控透射电子显微镜的预警系统，其特征在于，所述地面湿度的阈值范围为小于1%，冷却水温度的阈值范围为：18℃≤冷却水温度≤23℃，空气机压强的阈值范围为：0.4Mpa≤空气机压强≤0.6Mpa。