[发明专利]电子部件用层叠布线膜和被覆层形成用溅射靶材有效
| 申请号： | 201610105605.6 | 申请日： | 2016-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN105908139B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 村田英夫 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C19/03 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 被覆层 电子部件 溅射靶材 层叠布 线膜 导电层 总计 耐气候性 耐氧化性 湿式蚀刻 密合性 靶材 合金 覆盖 | ||
【权利要求书】：
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