[发明专利]用于粒子光学仪器的多源GIS

权利要求书

1.一种喷气系统(GIS)，用于在粒子光学仪器的真空室中施用至少两种流体，所述喷气系统具有两个或更多个通道(102,110)，各个通道在第一侧连接至容纳流体的相关联的贮藏器，并且在另一侧具有相关联的出口开口，出口侧经由具有喷嘴开口的喷嘴而单独地退出至所述GIS的外侧，所述出口开口中的一个(106)与另一个出口开口(108)同中心，其特征在于，第一通道(102)与用于对所述GIS进行定位的定位单元连接，并且至少一个其他的通道(110)可拆卸地安装于所述第一通道上。

2.根据权利要求1所述的GIS，其特征在于，内出口开口(108)穿过外出口开口(106)而伸出。

3.根据权利要求1或2所述的GIS，其特征在于，在工作中，所述流体在退出所述出口开口之后混合。

4.一种粒子光学仪器，其装备有根据权利要求1至3中的任一项所述的GIS。

5.一种使用根据权利要求1至3中的任一项所述的GIS的方法，其特征在于，在工作中，至少两种流体退出所述GIS，一种流体以第一通量退出所述GIS，并且另一种流体以相差至少两个数量级的通量退出所述GIS。

6.根据权利要求5所述的使用GIS的方法，其特征在于，第一流体是前驱体材料，并且第二流体与所述前驱体材料的至少一个分解产物起化学反应。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，将所述第二流体以比所述第一流体高至少两个数量级的通量传递。

8.根据权利要求6或7所述的方法，其特征在于，所述第二流体是还原流体或氧化流体。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述流体是包含H₂的还原流体。

10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述流体是包含O₂或H₂O的氧化流体。