[发明专利]化学增幅型正型抗蚀剂组合物和图案形成方法有效
| 申请号： | 201610102176.7 | 申请日： | 2016-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN105954973B | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 小竹正晃;藤原敬之;增永惠一;土门大将;渡边聪 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 杜丽利 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 增幅 型正型抗蚀剂 组合 图案 形成 方法 | ||
【说明书】：
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